[發明專利]改進的多晶硅制備中尾氣回收冷凝系統

有效

• 申請號: 201110254592.6
• 申請日: 2011-08-31
• 公開（公告）號: CN102417183A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 張高博;黃小亮;陳繼;莊恒亞
• 申請（專利權）人: 上海優華系統集成技術有限公司;廣州市優華過程技術有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107;C01B3/50;C01B33/03
• 代理公司: 北京連城創新知識產權代理有限公司 11254
• 代理人: 劉伍堂

1.一種改進的多晶硅制備中尾氣回收冷凝系統，采用冷氫化尾氣回收冷凝裝置對冷氫化裝置來的尾氣進行冷凝分離，所述的冷氫化尾氣回收冷凝裝置包括乙二醇冷凝器、氫氣冷凝器、R22冷凝器、冷凍水冷凝器、液相緩沖罐，其特征在于冷氫化尾氣回收冷凝裝置采用改進的冷氫化尾氣回收冷凝裝置對冷氫化裝置來的尾氣進行如下工藝的冷凝分離：采用7℃冷凍水與冷氫化裝置來的40～50℃的尾氣進行預換熱，使尾氣預冷卻至15～20℃后氣液分離，預換熱氣液分離后的15～20℃的尾氣氣相再采用-20℃的乙二醇冷劑進行一級換熱使尾氣冷卻至-10～-15℃后再次氣液分離，一級換熱氣液分離后的-10～-15℃的尾氣氣相再與后續的采用-45℃的R22冷劑三級換熱后出來的-35～-40℃的尾氣氣相進行二級換熱，使尾氣進一步冷卻至-20～-25℃氣液分離，二級換熱氣液分離后的-20～-25℃的尾氣氣相再采用-45℃的R22冷劑進行三級換熱降溫至-35～-40℃氣液分離，三級換熱氣液分離后分離出來的-35～-40℃的尾氣氣相作為二級換熱時所使用的冷源；而上述的預換熱至三級換熱的四個工序所冷凝下來的尾氣液相則進入液相緩沖罐（D）中。

2.如權利要求1所述的一種改進的多晶硅制備中尾氣回收冷凝系統，其特征在于：所述的改進的冷氫化尾氣回收冷凝裝置為，冷凍水冷凝器（E1）的殼程的氣相出口依次連接乙二醇冷凝器（E2）的殼程進口、氫氣冷凝器（E3）的殼程進口、R22冷凝器（E4）的殼程進口，R22冷凝器（E4）的殼程的氣相出口連接氫氣冷凝器（E3）的管程進口，冷凍水冷凝器（E1）的殼程的液相出口、乙二醇冷凝器（E2）的殼程的液相出口、氫氣冷凝器（E3）的殼程的液相出口和R22冷凝器（E4）的殼程的液相出口并聯后再連接液相緩沖罐（D）的進口，冷凍水冷凝器（E1）的管程進出口分別連接7℃冷凍水的出水口與7℃冷凍水的進水口。