[發明專利]多功能飛秒電子束診斷儀

無效

• 申請號: 201110254576.7
• 申請日: 2011-08-31
• 公開（公告）號: CN102445705A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 李文濤;王文濤;鄧愛華;張輝;王成;劉建勝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01T1/29
• 分類號: G01T1/29
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種多功能飛秒電子束診斷儀，特征在于其結構包括一個真空腔室(11)，該真空腔室(11)的前端面設有電子束(4)的入射窗口(15)，后端面有探測窗片(9)，在該探測窗片(9)內壁的上半部貼設有熒光板(10)，在該真空腔室(11)后端面的探測窗片(9)外包覆一個暗室(12)，在該真空腔室(11)內，由前端面至后端面在電子束(4)的前進方向上，依次設置銅環(1)、恒磁體(6)、第一透鏡(7)、第二透鏡(8)，所述的銅環(1)與電子束(4)的前進方向和所述的真空腔室(11)的底面都成45°，所述的恒磁體(6)的磁場方向垂直于所述的真空腔室(11)的底面，所述的電子束(4)經過所述的銅環(1)時產生前向輻射和后向輻射，所述的電子束(4)將產生垂直向上的偏轉，該偏轉電子束再經過所述的恒磁體(6)又會發生水平偏轉，形成偏轉電子束(5)，在該暗室(12)中面對所述的電子束(4)的前進方向設置一臺紅外CCD攝像機(14)，該紅外CCD攝像機(14)的像平面位于所述的第二透鏡(8)的焦平面，以記錄所述的前向輻射與探測窗片(9)相交的位置，在該暗室(12)中面對所述的偏轉電子束(5)的位置設有增強型CCD攝像機(13)，該增強型CCD攝像機(13)用于記錄所述的偏轉電子束(5)與熒光板(10)的交點產生的熒光信號，以記錄所述的偏轉的電子束(5)與熒光板(10)的交點的位置。

2.根據權利要求1所述的多功能飛秒電子束診斷儀，其特征在于所述的透鏡7、8為硒化鋅材料制成的，且鍍有紅外波段的增透膜。

3.根據權利要求1所述的多功能飛秒電子束診斷儀，其特征在于所述的窗片(9)為硒化鋅材料制成的，且鍍有紅外波段的增透膜。

4.根據權利要求1所述的多功能飛秒電子束診斷儀，其特征在于利用很薄的、印有精確到毫米的網格式坐標紙來對兩臺CCD攝像機上像素點對應的窗片(9)上的位置進行定標。

5.根據權利要求1所述的多功能飛秒電子束診斷儀，其特征在于所述的銅環為1～6個銅環構成，各銅環之間用與銅環一致的絕緣環隔離，所述的銅環的內徑的取值范圍為0.4mm～1.7mm，所述的銅環的外徑的取值范圍為≥15mm。?