[發明專利]一種多懸臂梁加速度傳感器無效
| 申請號： | 201110253586.9 | 申請日： | 2011-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN102401841A | 公開（公告）日： | 2012-04-04 |
| 發明（設計）人： | 汪祖民;方澍;郭群英;徐棟;黃斌 | 申請（專利權）人： | 華東光電集成器件研究所 |
| 主分類號： | G01P15/12 | 分類號： | G01P15/12;B81B3/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113 | 代理人： | 楊晉弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 懸臂梁 加速度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種多懸臂梁加速度傳感器，包括質量塊，質量塊的側面設有懸臂梁，懸臂梁上設有壓敏電阻，其特征在于：所述懸臂梁由兩個及兩個以上的與質量塊等高的子懸臂梁組成。
2.根據權利要求1所述的一種多懸臂梁加速度傳感器，其特征在于：質量塊的一個側面設有兩個及兩個以上的與質量塊等高的子懸臂梁。
3.根據權利要求1所述的一種多懸臂梁加速度傳感器，其特征在于：質量塊的兩個側面分別設有兩個及兩個以上的與質量塊等高的子懸臂梁。
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