[發(fā)明專利]梁膜結(jié)合傳感器結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110253241.3
• 申請日: 2011-08-31
• 公開（公告）號: CN102359837A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 戴兆喜;韓民俊;喬康;程紹龍;范傳東
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇奧力威傳感高科股份有限公司
• 主分類號: G01L1/20
• 分類號: G01L1/20;G01L9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種壓力傳感器結(jié)構(gòu)，具體的說是鈍化膜與支撐梁相結(jié)合的傳感器結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

MEMS壓力傳感器中最重要的部分是感受壓力的壓敏電阻，常用的結(jié)構(gòu)式采用四個壓敏電阻組成惠斯通橋。所以常用的壓力傳感器結(jié)構(gòu)都會涉及一層壓敏電阻層。在使用的過程中由于需要對壓敏電阻層進行保護，而同時需要在感受壓力之后將壓力承受起來，于是就需要有支撐梁，常用的支撐梁都是倒梯形結(jié)構(gòu)，由梯形的窄邊進行支撐感受到的壓力，而寬邊不需要承受壓力，為了保證足夠的支撐強度，需要將梯形的窄邊設(shè)計的足夠?qū)挘@樣就造成一定程度的材料浪費，而常用的壓力傳感器結(jié)構(gòu)采用的都是層狀結(jié)構(gòu)，即外部的鈍化膜、壓敏電阻、支撐梁結(jié)構(gòu)都是具有獨立的分層的，相互之間不交叉，所以也就不能起到相應(yīng)的限制作用，于是目前所使用的壓力傳感器都必須是整體成型的，如果采用分體成型的結(jié)構(gòu)，則需要設(shè)計其他的保護、限制等結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種梁膜結(jié)合傳感器結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有技術(shù)采用的整體式的支撐梁呈倒梯形，其應(yīng)力承受范圍相對較小，應(yīng)力分布不均，易于產(chǎn)生應(yīng)力集中的問題。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：

梁膜結(jié)合傳感器結(jié)構(gòu)，包括底部的支撐梁，支撐梁上部為壓敏電阻層，壓敏電阻層的表層為鈍化膜，所述支撐梁截面呈正立的直角梯形，并在支撐梁的上部設(shè)置有一個與壓敏電阻層和鈍化膜等高的保護條，所述保護條與所述支撐梁一體成型，保護條用于限制壓敏電阻層以及壓敏電阻層表面的鈍化膜進行側(cè)向移動，并且可以對壓敏電阻層的側(cè)面進行保護，而支撐梁的截面呈正立的直角梯形，即直角梯形的寬邊位于下部，直角梯形的窄邊位于上部，這樣可以使上部窄邊所受到的壓力進行扇面狀的分散，可以降低對底部支撐殼體的應(yīng)力要求。事實上，不管是采用正立的梯形還是倒立的梯形結(jié)構(gòu)，與壓敏電阻層接觸的部分所受到的壓力不會減小，即兩種設(shè)置方式中梯形的頂部承受的壓力是相同的，不同之處僅在于底部所承受的壓力變化，通過本發(fā)明的結(jié)構(gòu)改進，可以降低底部支撐殼體的應(yīng)力承受能力，提高穩(wěn)定性。

附圖說明

下面根據(jù)附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。

圖1是本發(fā)明實施例所述的梁膜結(jié)合傳感器結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明所述的梁膜結(jié)合傳感器結(jié)構(gòu)，包括底部的支撐梁1，支撐梁1上部為壓敏電阻層2，壓敏電阻層2的表層為鈍化膜3，所述支撐梁1截面呈正立的直角梯形，并在支撐梁1的上部設(shè)置有一個與壓敏電阻層2和鈍化膜3等高的保護條4，所述保護條4與所述支撐梁1一體成型，保護條4用于限制壓敏電阻層2以及壓敏電阻層2表面的鈍化膜3進行側(cè)向移動，并且可以對壓敏電阻層2的側(cè)面進行保護，而支撐梁1的截面呈正立的直角梯形，即直角梯形的寬邊位于下部，直角梯形的窄邊位于上部，這樣可以使上部窄邊所受到的壓力進行扇面狀的分散，可以降低對底部支撐殼體的應(yīng)力要求。事實上，不管是采用正立的梯形還是倒立的梯形結(jié)構(gòu)，與壓敏電阻層2接觸的部分所受到的壓力不會減小，即兩種設(shè)置方式中梯形的頂部承受的壓力是相同的，不同之處僅在于底部所承受的壓力變化，通過本發(fā)明的結(jié)構(gòu)改進，可以降低底部支撐殼體的應(yīng)力承受能力，提高穩(wěn)定性。保護條4與所述支撐梁1一體成型，這樣可以進一步提高支撐梁1對上部壓敏電阻層2的保護作用，提高壓力傳感器整體的穩(wěn)定性。