[發明專利]用于估計無重力形狀的方法和裝置有效

申請號：	201110253026.3	申請日：	2011-08-29
公開（公告）號：	CN102435162A	公開（公告）日：	2012-05-02
發明（設計）人：	J·S·艾伯特三世;D·R·哈維;C·R·尤斯坦內克	申請（專利權）人：	康寧股份有限公司
主分類號：	G01B21/20	分類號：	G01B21/20
代理公司：	北京北翔知識產權代理有限公司 11285	代理人：	楊勇;鄭建暉
地址：	美國***	國省代碼：	美國;US
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摘要：
搜索關鍵詞：	用于估計重力形狀方法裝置
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【說明書】：

本申請要求于2010年8月27日提交的美國申請12/870134的優先權利益。

技術領域

本公開內容涉及用于估計柔性物體的無重力形狀的方法和裝置，所述柔性物體如用于顯示設備(例如液晶顯示器(LCD))中的那類薄玻璃板。

背景技術

諸如玻璃板之類的柔性物體的無重力形狀的知識就理解和控制以下項是有價值的：1)用來制造該物體的過程，例如在玻璃板的情況下的下拉熔制法，和2)該物體在使用期間的性能，例如玻璃板在被真空夾持(chuck)至平坦平面時的性能。例如參見共同轉讓的美國專利7,509,218和PCT專利公布WO?2009/108302，該美國專利和PCT專利公布的內容均以引用的方式全部被納入本文。

隨著在顯示設備中用作襯底的玻璃板變得更大和更薄，確定所述板的無重力形狀變得尤其有挑戰性。例如，用于液晶顯示器的GEN?10襯底具有大于9平方米(2,880x3,130mm)的面積和0.7mm的厚度，甚至更薄的板變得越來越受歡迎。盡管美國專利7,509,218的“針床”(bed-of-nails)(BON)技術可用于這樣的更大和更薄的板，但是隨著玻璃板變得更大，獲得高分辨率所需的測量組件的數量(即，可調節釘與測壓元件組合的數量)變得相當大。這又導致高設備成本。此外，隨著組件的數量增加，由于有缺陷的測量組件而導致的誤差變得更普遍。此外，美國專利7,509,218的用于調節可調節釘的高度的優選算法將所述釘中的三個釘的位置固定。實踐中，這樣的固定高度導致形狀誤差集中在固定高度的釘所支承的板的位置，這可能損害形狀確定的精確性。

本公開內容提供1)用于對于給定數量的測量組件獲得更高分辨率的方法和裝置，2)用于確認形狀確定的可靠性的方法和裝置，以及3)用于將形狀誤差分攤在整組可調節釘/測壓元件組件上的方法和裝置。這些特征可單獨使用或組合使用，因而可用來解決與使用BON技術確定無重力形狀有關的上述問題中的一些或全部。

發明內容

根據第一方面，公開了一種獲得柔性物體(140)的無重力形狀的估計的方法，該方法包括：

(I)將柔性物體(140)支撐在多個高度可調節的釘(110)上；

(II)通過迭代地執行以下步驟(A)和(B)調節可調節的釘(110)的高度：

(A)測量在每個釘(110)處柔性物體(140)的重量(112)；以及

(B)基于測量重量調節釘(110)的高度(114)；

(III)當迭代次數、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預定標準時，終止步驟(II)的迭代；

(IV)在不從釘(110)上移走柔性物體(140)的情況下，在步驟(III)之后使用具有比任意兩個釘(110)之間的最小間距更精細的空間分辨率的測量系統(200)測量柔性物體的形狀；以及

(V)從步驟(IV)的測量形狀減去支撐在釘上的平坦物體的計算形狀，該平坦物體具有與柔性物體(140)相同的尺寸和機械性能，所得到的差為柔性物體(140)的無重力形狀的估計。

根據第二方面，公開了一種獲得柔性物體(140)的無重力形狀的估計的方法，該柔性物體(140)具有相反的第一表面和第二表面，該方法包括：

(I)將柔性物體(140)的第一表面支撐在多個高度可調節的釘(110)上；