[發(fā)明專利]用于形成薄膜的方法及旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)

無效

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• 申請日: 2011-08-30
• 公開（公告）號: CN102828170A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方政加;楊成傑;劉恒
• 申請（專利權(quán)）人: 綠種子能源科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 上海波拓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

1.一種用于在至少一基板上形成一層或多層至少一種材料的系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)包括一旋轉(zhuǎn)殼體、一承座部件、一驅(qū)動裝置、至少一固定座齒輪以及一中心齒輪，該承座部件承載于該旋轉(zhuǎn)殼體，該驅(qū)動裝置位于該承座部件下方，其用于驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)殼體和該承座部件旋轉(zhuǎn)于一承座軸，該至少一固定座齒輪位于該承座部件上，與該承座部件一同旋轉(zhuǎn)于該承座軸且用于支撐該至少一基板，該中心齒輪與該至少一固定座齒輪相嚙合，其用于在該至少一固定座齒輪旋轉(zhuǎn)于該承座軸時(shí)使該至少一固定座齒輪分別旋轉(zhuǎn)于該至少一固定座軸。

2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)更包括至少一基板固定座分別連接于該至少一固定座齒輪，且與該至少一固定座齒輪一同旋轉(zhuǎn)于該承座軸，其中該至少一固定座齒輪借由該至少一基板固定座支撐該至少一基板，該至少一基板固定座用于承載該至少一基板。

3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于：該中心齒輪可設(shè)定成在該至少一固定座齒輪旋轉(zhuǎn)于該承座軸時(shí)使該至少一基板固定座與該至少一固定座齒輪一同旋轉(zhuǎn)于該至少一固定座軸。

4.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于：該至少一固定座齒輪的每一個(gè)都具有一用于支撐一對應(yīng)基板固定座的中空環(huán)，該對應(yīng)基板固定座選自該至少一基板固定座。

5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：該中心齒輪可設(shè)定成在該至少一固定座齒輪旋轉(zhuǎn)于該承座軸時(shí)不旋轉(zhuǎn)于該承座軸。

6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：該中心齒輪可設(shè)定成在該至少一固定座齒輪以一第二角速度沿一第二方向旋轉(zhuǎn)于該承座軸時(shí)以一第一角速度沿一第一方向旋轉(zhuǎn)于該承座軸。

7.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于：該第一方向不同于該第二方向，且該第一角速度不同于該第二角速度。

8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：該驅(qū)動裝置包括一位于該承座部件下方且連接該旋轉(zhuǎn)殼體的第一齒輪，以及一與該第一齒輪相嚙合且用于使該第一齒輪旋轉(zhuǎn)于該承座軸的第二齒輪。

9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)更包括一用于驅(qū)動該第二齒輪以使該第一齒輪旋轉(zhuǎn)于該承座軸的馬達(dá)。

10.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)更包括至少一球軸承，其用于支撐該至少一固定座齒輪且使該至少一固定座齒輪分別旋轉(zhuǎn)于該至少一固定座軸。

11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)更包括至少一固定座環(huán)，其連接于該承座部件且分別位于該承座部件和該至少一固定座齒輪之間。

12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于：該至少一球軸承中的每一個(gè)均位于一對應(yīng)固定座環(huán)的一第一溝槽和一對應(yīng)固定座齒輪的一第二溝槽之間，該對應(yīng)固定座環(huán)選自該至少一固定座環(huán)，該對應(yīng)固定座齒輪選自該至少一固定座齒輪，該第一溝槽位于該第二溝槽下方。

13.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)更包括：

至少一基板固定座分別連接于該至少一固定座齒輪，與該至少一固定座齒輪一同旋轉(zhuǎn)于該承座軸且用于承載該至少一基板；

至少一外環(huán)連接該承座部件；以及

至少一內(nèi)環(huán)分別連接該至少一基板固定座。

14.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其特征在于：該至少一球軸承中的每一個(gè)均位于一對應(yīng)外環(huán)的一外溝槽和一對應(yīng)內(nèi)環(huán)的一內(nèi)溝槽之間，該對應(yīng)外環(huán)選自該至少一外環(huán)，該對應(yīng)內(nèi)環(huán)選自該至少一內(nèi)環(huán)。

15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于：該至少一內(nèi)環(huán)與該至少一固定座齒輪不直接接觸。