[發明專利]一種使用金剛石線切割的單晶短棒拼接方法無效
| 申請號: | 201110251614.3 | 申請日: | 2011-08-30 |
| 公開(公告)號: | CN102294757A | 公開(公告)日: | 2011-12-28 |
| 發明(設計)人: | 于景;俞建業;曾斌;葉平;歐陽思周;湯瑋;胡凱 | 申請(專利權)人: | 江西金葵能源科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 萍鄉益源專利事務所 36119 | 代理人: | 張放強 |
| 地址: | 337000 江西省萍*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 使用 金剛石 切割 單晶短棒 拼接 方法 | ||
1.?一種使用金剛石線切割的單晶短棒拼接方法:其特征在于:先對單晶硅短棒端面檢測,要求端面平整度小于0.3mm,再用膠水涂覆在端面上將短棒粘接,粘接后加壓固化?,再對拼接棒進行開方、端面研磨、滾磨,檢驗合格后再將拼接棒在切片工作艙內切割成單晶硅片。
2.根據權利要求1所述的一種使用金剛石線切割的單晶短棒拼接方法:其特征在于:所述拼接棒在切片前,用夾具將拼接棒粘接在樹脂條上,固化后在樹脂條(6)另一面均勻涂上膠,將樹脂條平行設置在粘料板(3)上,粘料板固定在夾具上,利用設置在粘料板長度方向上的調節螺桿(1)調整拼接棒在粘料板上的水平位置,使拼接棒長度方向與粘料板長度方向偏離一個角度,角度為在0.5-2°,使拼接棒(4)與切割線成垂直切割變成拼接棒與切割線成非垂直切割,待完全固化后,再將粘料板連同拼接棒固定在切片工作艙內進行切片。
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