[發(fā)明專利]放射線敏感性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、濾色器以及濾色器的形成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110250945.5
• 申請日: 2011-08-16
• 公開（公告）號: CN102385251A
• 公開（公告）日: 2012-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 米田英司;西信弘;丸山拓之
• 申請（專利權(quán)）人: JSR株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G02B5/20;G03F7/00
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務(wù)所 11216
• 代理人: 劉激揚

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及放射線敏感性樹脂組合物、固化膜、固化膜的形成方法、濾色器以及濾色器的形成方法。?

背景技術(shù)

放射線敏感性樹脂組合物正在被廣泛用于作為層間絕緣膜、保護膜或墊片的固化膜的形成材料。作為該放射線敏感性樹脂組合物，眾所周知例如含有不飽和羧酸、含環(huán)氧基不飽和化合物等構(gòu)成的共聚物的組合物(參照日本特開2001-354822號公報)。但是，在使用這些組合物時，為了提高表面硬度，滿足固化膜達到實際商業(yè)要求的水平，必須在200℃以上的高溫下經(jīng)焙燒工序。?

另一方面，電子書等撓性顯示器正在普及。作為該撓性顯示器的基板，正在研究聚對苯二甲酸乙二醇酯等撓性基板。由于該基板在加熱時拉伸或收縮，會發(fā)生損壞顯示器功能的不佳狀況，必須使固化膜的焙燒工序?qū)崿F(xiàn)低溫化。?

公開有一種即使是低溫焙燒也可作為形成交聯(lián)涂膜的涂料組合物，例如利用封端異氰酸酯的技術(shù)(參照日本特開2009-155408號公報)。通過在反應(yīng)性高的異氰酸酯基上具有保護基團，焙燒時保護基團解離，進行交聯(lián)反應(yīng)，能得到良好的固化膜，兼具保存穩(wěn)定性和反應(yīng)性。但是，有關(guān)該涂料組合物，由于不具有基于曝光顯影的圖案形成能力，故不能形成精細的圖案。?

另外，開發(fā)出一種撓性顯示器的柵極絕緣膜用的涂敷液的技術(shù)，其即使是低溫焙燒也含可固化的聚酰亞胺前體(參照日本特開2009-4394號公報)。但是，即使在該涂敷液中，也由于不具有基于曝光顯影的圖案形成能力，故不能形成精細的圖案。進一步，可能是因為固化反應(yīng)性不充分，焙燒需1小時以上的時間，且得到的層間絕緣膜等的固化膜的硬度等達不到滿足的水平。進而，在撓性顯示器的裝置制造的工序中，有時在層間絕緣膜的上層形成層疊物。在該情況下，不但要求層間絕緣膜具有高相對介電常數(shù)，而且要求針對層疊物形成時使用的溶劑具有耐溶劑性。?

因此，考慮通過添加作為環(huán)氧類材料的固化劑而使用的胺化合物，即使是低溫也使交聯(lián)反應(yīng)進行的方案，但是添加一般的胺化合物，有時會導(dǎo)致與組合物中存在的環(huán)氧基發(fā)生隨時間變化反應(yīng)，使保存穩(wěn)定性降低。?

由于這樣的情況，期望開發(fā)一種兼具保存穩(wěn)定性和低溫焙燒性能，且具有充分的敏感性的放射線敏感性樹脂組合物、以及耐溶劑性、相對介電常數(shù)和硬度均優(yōu)異的固化膜。?

現(xiàn)有技術(shù)文獻?

專利文獻?

專利文獻1日本特開2001-354822號公報?

專利文獻2日本特開2009-155408號公報?

專利文獻3日本特開2009-4394號公報?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是基于上述內(nèi)容而完成的，其目的在于提供一種兼具保存穩(wěn)定性和低溫焙燒性能，且具有充分的敏感性的放射線敏感性樹脂組合物、以及耐溶劑性、相對介電常數(shù)和硬度均優(yōu)異的層?間絕緣膜、保護膜或作為墊片的固化膜、該固化膜的形成方法、耐熱性、耐溶劑性、電壓保持率等優(yōu)異的濾色器、以及該濾色器的形成方法。?

能解決上述課題的發(fā)明是一種放射線敏感性樹脂組合物，其含有：?

[A]堿可溶性樹脂(以下，也稱為[A]堿可溶性樹脂)，其通過將(A1)選自不飽和羧酸和不飽和羧酸酐構(gòu)成的群組中的至少一種化合物(以下，也稱為“(A1)化合物”)與(A2)含羥基不飽和化合物(以下，也稱為“(A2)化合物”)共聚而得到；?

[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物(以下，也稱為“[B]聚合性化合物”)；?

[C]放射線敏感性聚合引發(fā)劑；以及?

[D]封端異氰酸酯化合物。?

該放射線敏感性樹脂組合物含有[A]堿可溶性樹脂、[B]重合性化合物、[C]放射線敏感性聚合引發(fā)劑以及[D]封端異氰酸酯化合物。作為放射線敏感性材料的該放射線敏感性樹脂組合物，通過利用放射線敏感性的曝光、顯影，能容易形成微細且精巧的圖案，并且具有充分的敏感性。另外，該放射線敏感性樹脂組合物通過含有[C]放射線敏感性聚合引發(fā)劑，即使是低曝光量的情況下，仍能夠進一步提高耐溶劑性等固化膜的要求特性。進而，通過含有通常在150℃左右進行脫保護的[D]封端異氰酸酯化合物，作為有效的交聯(lián)劑，使異氰酸酯-羥基交聯(lián)反應(yīng)進行，該放射線敏感性樹脂組合物能夠在高水平上兼具保存穩(wěn)定性和低溫焙燒性能。?