[發明專利]大直徑MOCVD反應器的噴淋頭

有效

• 申請號: 201110249030.2
• 申請日: 2011-08-26
• 公開（公告）號: CN102953050A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 徐小明;周永君;鄔建偉;丁云鑫
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭明芯科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 喻學兵

1.大直徑MOCVD反應器的噴淋頭，包括III族腔、V族腔以及冷卻水腔，其特征在于，III族腔、V族腔以及冷卻水腔均分隔為N個腔體，N是大于等于2的自然數，每腔體均為一單體。

2.如權利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，冷卻水腔的各個腔體的進水部位于各個腔體的內側中心，且出水部位于各個腔體的外周位置。

3.如權利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，在噴淋頭的正中間，通入一根V氣體的管道至噴淋頭下方的反應腔。

4.如權利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，III族腔的各腔體通過一塊配流孔板分成上、下兩個腔，上、下兩個腔通過配流孔板上的孔相通。

5.如權利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，所述N個腔體為四個等分的腔體。

6.如權利要求1所述的噴淋頭，其特征在于，III族腔、V族腔以及冷卻水腔為圓形，II族腔、V族腔以及冷卻水腔的各個腔體為扇形。

7.如權利要求4所述的噴淋頭，其特征在于，包括頂部組件和噴淋組件，頂部組件包括上蓋板，上蓋板提供有所述III族腔，上蓋板上形成有III族氣體進入通道，該III族氣體進入通道與所述III族腔的上腔連通；噴淋組件包括N個噴淋單元，各噴淋單元包括上孔板、中間孔板、下孔板、圈圍側壁、上毛細管組以及下毛細管組，上孔板、中間孔板以及環繞上孔板、中間孔板的圈圍側壁圍成所述V族腔的一個腔體，圈圍側壁上形成有通往V族腔的該腔體的V族氣體進入通道，中間孔板、下孔板以及環繞中間孔板、下孔板的圈圍側壁圍成所述冷卻水腔的一個腔體，上毛細管組的各管穿設在上孔板、中間孔板、下孔板的孔中，下毛細管組的各管穿設在中間孔板、下孔板的孔中，V族腔和冷卻水腔不相通，下毛細管組將V族腔和噴淋頭下方的反應腔導通；噴淋組件位于頂部組件的下方，上毛細管組的各管將下III族腔與噴淋頭下方的反應腔導通；上毛細管組和下毛細管組交錯布置。

8.如權利要求7所述的噴淋頭，其特征在于，噴淋組件的外圍環繞有冷卻水環。

9.如權利要求7所述的噴淋頭，其特征在于，還包括用于分配冷卻水的配流管，各冷卻水腔的各個腔體的進水部位于各個腔體的內側中心，且出水部位于各個腔體的外周位置，各進水部通過進水管連接至同一該配流管。