[發明專利]線切割裝置的主輪結構、其制作方法及線切割裝置

有效

• 申請號: 201110248202.4
• 申請日: 2011-08-26
• 公開（公告）號: CN102950660A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 陳鈺麟;劉建億
• 申請（專利權）人: 昆山中辰矽晶有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 昆山四方專利事務所 32212
• 代理人: 盛建德

1.一種線切割裝置的主輪結構，所述主輪具有主輪本體，所述主輪本體具有相對的一個入線端和一個出線端，所述主輪本體上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開設有若干平行的環形的溝槽，其特征在于：若干環形的溝槽之中靠近所述出線端的環形的溝槽為第一溝槽，若干環形的溝槽之中靠近所述入線端的環形的溝槽為第二溝槽，所述第一溝槽為具有對稱型態的溝槽。

2.根據權利要求1所述的線切割裝置的主輪結構，其特征在于：所述具有對稱型態的第一溝槽為正V型溝槽，每個所述正V型的第一溝槽具有槽底面和相對的兩槽壁，所述第一溝槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一，每個所述第一溝槽的相對的兩槽壁的夾角為30°至75°，每個所述第一溝槽的溝深為160um至300um，相鄰兩第一溝槽的間距為0.250mm至0.370mm。

3.根據權利要求1所述的線切割裝置的主輪結構，其特征在于：所述具有對稱型態的第一溝槽為U型溝槽，每個所述U型的第一溝槽具有槽底面，所述第一溝槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一。

4.根據權利要求1至3之一所述的線切割裝置的主輪結構，其特征在于：所有環形的溝槽為等間距排布。

5.一種線切割裝置的主輪結構的制作方法，其特征在于：所述主輪具有主輪本體，所述主輪本體具有相對的一個入線端和一個出線端，在所述主輪本體上用切割的方式從所述出線端開始向所述入線端加工成型出若干環形的溝槽，若干環形的溝槽之中靠近所述出線端的環形的溝槽為第一溝槽，若干環形的溝槽之中靠近所述入線端的環形的溝槽為第二溝槽，所述第一溝槽為具有對稱型態的溝槽。

6.根據權利要求5所述的線切割裝置的主輪結構的制作方法，其特征在于：所述切割的方式為機械切割加工。

7.根據權利要求5或6所述的線切割裝置的主輪結構的制作方法，其特征在于：所述具有對稱型態的第一溝槽為正V型溝槽，每個所述正V型的第一溝槽具有槽底面和相對的兩槽壁，所述第一溝槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一，每個所述第一溝槽的相對的兩槽壁的夾角為30°至75°，每個所述第一溝槽的溝深為160um至300um，相鄰兩第一溝槽的間距為0.250mm至0.370mm。

8.一種線切割裝置，包括至少兩個相對設置的導輪，每個所述導輪皆具有相對的一個入線端和一個出線端，所述導輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開設有若干平行的環形的溝槽，其特征在于：每個所述導輪上的若干環形的溝槽之中靠近所述出線端的環形的溝槽為第一溝槽，每個所述導輪上的若干環形的溝槽之中靠近所述入線端的環形的溝槽為第二溝槽，至少有一個導輪上的所述第一溝槽為具有對稱型態的溝槽，設有至少一根線材，所述線材沿所述環形的溝槽纏繞于兩個導輪之間形成若干條平行切線。

9.根據權利要求8所述的線切割裝置，其特征在于：設有給導輪供應切削液的切削液供應模塊。

10.根據權利要求8所述的線切割裝置，其特征在于：所述入線端設有入線標記。

11.根據權利要求8所述的線切割裝置，其特征在于：所述具有對稱型態的第一溝槽為正V型溝槽，每個所述正V型的第一溝槽具有槽底面和相對的兩槽壁，所述第一溝槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一，每個所述第一溝槽的相對的兩槽壁的夾角為30°至75°，每個所述第一溝槽的溝深為160um至300um，相鄰兩第一溝槽的間距為0.250mm至0.370mm。

12.根據權利要求8所述的線切割裝置的主輪結構，其特征在于：所述具有對稱型態的第一溝槽為U型溝槽，每個所述U型的第一溝槽具有槽底面，所述第一溝槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一。

13.根據權利要求8至12之一所述的線切割裝置的主輪結構，其特征在于：所有環形的溝槽為等間距排布。