[發(fā)明專利]多晶硅硅烷分解爐之導(dǎo)熱油硅芯夾套式小鐘罩有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110247520.9 | 申請日： | 2011-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN102320603A | 公開（公告）日： | 2012-01-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李子林;劉慧穎;朱敏;孫惺惺 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇雙良鍋爐有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/027 | 分類號： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210 | 代理人： | 唐紉蘭 |
| 地址： | 214444 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶 硅烷 分解 導(dǎo)熱油 硅芯夾套式小鐘罩 | ||
1.一種多晶硅硅烷分解爐之導(dǎo)熱油硅芯夾套式小鐘罩，其特征在于：所述小鐘罩包括套筒外管（1）、套筒內(nèi)管（2）、套筒封蓋（3）、硅烷導(dǎo)氣管（4）、導(dǎo)熱油入口管（9）、導(dǎo)熱油出口管（11）、中心管（5）、套筒夾層導(dǎo)熱油管（6）、支撐板（7）、密封板（12）和硅烷進氣管（10），所述套筒外管（1）與套筒內(nèi)管（2）均有四件，每件套筒外管（1）均與其對應(yīng)的套筒內(nèi)管（2）同軸設(shè)置，頂部用套筒封蓋（3）密封，分別組成第一套筒（15）、第二套筒（16）、第三套筒（17）和第四套筒（18），并與中心管（5）共同固定在支撐板（7）上，所述第一套筒（15）、第二套筒（16）、第三套筒（17）和第四套筒（18）布置于中心管（5）的外圍，所述中心管（5）頂部封閉，中心管（5）與四件套筒之間設(shè)置若干硅烷導(dǎo)氣管（4），若干硅烷導(dǎo)氣管（4）將中心管（5）與所述四件套筒的夾層相連通，在中心管（5）中安裝的導(dǎo)熱油入口管（9）一端與第一套筒的夾層連通，第一套筒的夾層與第二套筒的夾層和第三套筒的夾層之間通過套筒夾層導(dǎo)熱油管（6）連通，其中，該套筒夾層導(dǎo)熱油管（6）一端在第一套筒的夾層的頂部，另一端在第二套筒的夾層或第三套筒的夾層的底部；同理，第二套筒的夾層和第三套筒的夾層與第四套筒的夾層通過套筒夾層導(dǎo)熱油管（6）連通，其中，該套筒夾層導(dǎo)熱油管（6）一端在第二套筒的夾層或第三套筒的夾層的頂部，另一端在第四套筒的夾層的底部，第四套筒的夾層與在中心管（5）中安裝的導(dǎo)熱油出口管（11）一端連通，硅烷進氣管（10）連接于中心管（5）底部，導(dǎo)熱油入口管（9）和導(dǎo)熱油出口管（11）與硅烷進氣管（10）通過密封板（12）與中心管（5）底部密封。
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