[發明專利]一種顯示器及其制備方法無效
| 申請號: | 201110245565.2 | 申請日: | 2011-08-25 |
| 公開(公告)號: | CN102650777A | 公開(公告)日: | 2012-08-29 |
| 發明(設計)人: | 彭寬軍;呂敬;孫陽 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1343 | 分類號: | G02F1/1343;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 王朋飛;張慶敏 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 顯示器 及其 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及顯示器領域,具體涉及一種顯示器的制備方法、以及采用該方法制備的顯示器。
背景技術
在平板顯示技術中,薄膜晶體管液晶顯示器(TFT?LCD)具有低功耗、制造成本相對較低、無輻射的特點,因此在平板顯示器市場占據了主導地位。由于各廠商之間的激烈競爭和TFT?LCD制造技術的不斷進步,顯示質量更加優良,價格更加便宜的液晶顯示器不斷推向市場。因此,采用更加先進的制造技術,簡化生產工藝,降低生產成本,同時提高性能成為TFT?LCD廠商在劇烈競爭中得以生存的保證。
TFT?LCD由彩膜基板和陣列基板組成,中間充滿了液晶材料。陣列基板上具有像素結構,彩膜基板上具有公共電極(COM電極),通過對其施加公共電壓,使其與陣列基板上的像素電極之間形成電場,并使液晶分子在電場作用下發生扭轉,從而控制光的透過量,最終顯示圖像。
陣列基板上通常包括透明基板襯底、柵線和柵電極、公共電極、柵絕緣層、半導體層、歐姆接觸層、源漏電極和數據線、鈍化層、像素電極等部分,此外,陣列基板上還含有公共電極線,又稱為存儲電容底電極。
陣列基板上的公共電極線、公共電極和像素電極,以及彩膜基板上的公共電極目前采用的都是透明導電薄膜ITO,ITO薄膜是一種摻雜性半導體材料,目前廣泛應用于液晶顯示領域,但成本相對昂貴。其制備過程是通過金屬濺射沉積而得,金屬濺射工藝較為復雜,條件要求也較為苛刻。
發明內容
為克服目前顯示器制造成本較高的缺陷,尋找低成本的替代品,本發明的目的是提供一種顯示器的制備方法。
本發明所提供的制備方法中,所述顯示器的像素電極、公共電極或公共電極線中的一個或多個的形成方法為:旋涂PEDOT/PSS(聚(3,4-乙烯基二氧噻吩)/聚(苯乙烯磺酸鹽))水溶液形成PEDOT/PSS薄膜,再進行真空干燥。
PEDOT/PSS是一種高分子聚合物的水溶液,導電率高,根據不同的配方,可以得到導電率不同的水溶液,導電率可以高達900S/cm,其分子結構如圖1所示。
上述PEDOT/PSS薄膜中,PEDOT與PSS的重量比為1∶2.0~3.0,優選1∶2.5。
所述PEDOT/PSS水溶液的固含量為1.0~3.0%,優選為1.2~1.4%。
所述真空干燥溫度為60~180℃。
其中,當所述顯示器為薄膜晶體管液晶顯示器時,所述公共電極可以是形成在彩膜基板上,也可以是形成在陣列基板上。
當所述公共電極和/或所述像素電極形成在陣列基板上時,在所述公共電極和/或所述像素電極形成之前制備柵線和柵電極。
在陣列基板上,當像素電極或公共電極是第一層電極結構時,由于PEDOT/PSS薄膜采用旋涂工藝成膜,成膜工藝簡單,不容易有段差,成膜性好,導電效果好,能夠滿足液晶顯示器的要求。而在公共電極或者像素電極形成之前先形成柵線和柵電極,可以在制作公共電極或者像素電極時,避免柵線和柵電極刻蝕過程中的影響,從而提高良品率。
優選地,所述像素電極和所述公共電極形成在同一陣列基板上,所述陣列基板的制備包括以下步驟:
(1)在基板上沉積柵金屬層,通過光刻、刻蝕得到柵線和柵電極;
(2)在完成步驟(1)的基板上旋涂PEDOT/PSS水溶液形成PEDOT/PSS薄膜,真空干燥,再通過光刻、刻蝕得到公共電極;
(3)在完成步驟(2)的基板上分別形成柵絕緣層、半導體層、歐姆接觸層、數據線、源漏電極及鈍化層;
(4)在完成步驟(3)的基板上旋涂PEDOT/PSS水溶液形成PEDOT/PSS薄膜,真空干燥,再通過光刻、刻蝕形成像素電極。
進一步地,本發明還提供了一種顯示器,所述顯示器的像素電極、公共電極或公共電極線中的一個或多個為PEDOT/PSS薄膜。
所述顯示器可以是薄膜晶體管液晶顯示器,也可以是電子紙、OLED等多種顯示器件。
當所述顯示器為薄膜晶體管液晶顯示器時,所述公共電極可以形成在所述顯示器的彩膜基板上;所述公共電極和/或像素電極還可以形成在所述顯示器的陣列基板上。
所述陣列基板上公共電極的PEDOT/PSS薄膜厚度為200~700nm。
本發明還提供了PEDOT/PSS薄膜在制備顯示器的像素電極、公共電極或公共電極線中的應用。
所述PEDOT/PSS薄膜中PEDOT與PSS的重量比為1∶2.0~3.0,優選1∶2.5。
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