[發明專利]一種小尺寸晶圓樣品結構截面觀察的樣品制備方法無效
| 申請號： | 201110245009.5 | 申請日： | 2011-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN102426119A | 公開（公告）日： | 2012-04-25 |
| 發明（設計）人： | 張濤 | 申請（專利權）人： | 上海華碧檢測技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28;G01N23/22 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200433 上海市楊*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 尺寸 樣品 結構 截面 觀察 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種小尺寸晶圓樣品結構截面觀察的樣品制備方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：
A、將需要分析的小尺寸晶圓樣品通過手工裂片和手工研磨推進的方法，制備出一個接近需要觀察的目標區的截面樣品；
B、使用聚焦離子束分析儀沿已經制備出接近目標區的截面樣品進行定點拋光，直至拋光到需觀察結構目標區的中心位置；
C、將拋光好的截面樣品從聚焦離子束分析儀中取出，放入掃描電子顯微鏡中觀察，找到需要分析的目標區，拍出目標區截面的掃描電子顯微鏡照片，測量Y方向高度，完成小尺寸晶圓樣品結構截面分析工作。
2.根據權利要求1所述的一種小尺寸晶圓樣品結構截面觀察的樣品制備方法，其特征在于：所述步驟A中接近需要觀察的目標區的距離為8～12um。
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