[發(fā)明專利]記錄太陽能晶片制程履歷的方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110243464.1
• 申請日: 2011-08-24
• 公開（公告）號: CN102655186A
• 公開（公告）日: 2012-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 煙浩;謝瑞海;簡榮吾
• 申請（專利權(quán)）人: 英穩(wěn)達(dá)科技股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 上海波拓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

1.一種記錄太陽能晶片制程履歷的方法，使用于太陽能晶片的串列式連續(xù)生產(chǎn)線，其特征在于，所述方法包括：

在所述串列式連續(xù)生產(chǎn)線預(yù)設(shè)多個(gè)制程站；

在所述這些制程站中或所述這些制程站進(jìn)出端預(yù)設(shè)至少一個(gè)計(jì)數(shù)器；

計(jì)算每一片太陽能晶片通過各所述這些計(jì)數(shù)器的時(shí)間，并依據(jù)所述這些計(jì)數(shù)器的晶片計(jì)數(shù)，建立每一片太陽能晶片的晶片序號，以得到所述這些晶片序號及時(shí)間的關(guān)系；

記錄所述這些制程站的制程參數(shù)與時(shí)間的關(guān)系；以及

同步化所述這些制程站的制程參數(shù)及所述晶片序號所對應(yīng)的時(shí)間，以得到每一片太陽能晶片的制程履歷。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：所述計(jì)算每一片太陽能晶片通過各所述這些計(jì)數(shù)器的時(shí)間時(shí)，是依照所述這些計(jì)數(shù)器的距離及所述串列式連續(xù)生產(chǎn)線的輸送速率推算。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：得到所述晶片序號與時(shí)間的關(guān)系時(shí)，還包括以列表清單及/或關(guān)系圖的方式輸出。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：記錄所述這些制程站的制程參數(shù)與時(shí)間的關(guān)系時(shí)，還包括選擇以文字、列表清單、關(guān)系圖及其任意組合的群組其中的一種方式表示。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：記錄所述這些制程站的制程參數(shù)與時(shí)間的關(guān)系時(shí)，是每隔較長周期記錄一次，當(dāng)產(chǎn)生異常狀況時(shí)，才在所述異常狀況產(chǎn)生的時(shí)間點(diǎn)增加記錄，或改為較短周期記錄一次，直到所述異常狀況排除。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于：所述異常狀況是指偵測到所述制程參數(shù)超出一定預(yù)設(shè)范圍，此時(shí)，還包括記錄并標(biāo)記該異常狀況發(fā)生的時(shí)間區(qū)域及制程參數(shù)。

7.?如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于：在同步化所述這些制程站的制程參數(shù)及該晶片序號的時(shí)間之后，還包括以所述時(shí)間區(qū)域，追蹤并標(biāo)記制程參數(shù)的異常太陽能晶片。

8.?一種記錄太陽能晶片制程履歷的系統(tǒng)，用于太陽能晶片的串列式連續(xù)生產(chǎn)線，其特征在于：所述串列式連續(xù)生產(chǎn)線具有多個(gè)制程站，所述系統(tǒng)包括晶片計(jì)數(shù)監(jiān)控模塊和參數(shù)監(jiān)控模塊，所述晶片計(jì)數(shù)監(jiān)控模塊包括多個(gè)計(jì)數(shù)器和輸出裝置，所述多個(gè)計(jì)數(shù)器一一設(shè)置于所述這些制程站中或所述這些制程站進(jìn)出端，以記錄通過的太陽能晶片計(jì)數(shù)，藉此建立每一片太陽能晶片的晶片序號，所述輸出裝置計(jì)算所述太陽能晶片通過各所述這些計(jì)數(shù)器的時(shí)間，并輸出所述這些太陽能晶片的晶片序號與時(shí)間的關(guān)系，所述參數(shù)監(jiān)控模塊用以輸出所述這些制程站的制程參數(shù)與時(shí)間的關(guān)系，其中，通過同步化所述制程參數(shù)，及所述這些晶片序號所對應(yīng)的時(shí)間，以得到每一片太陽能晶片的制程履歷。

9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述輸出裝置輸出通過所述這些晶片序號與時(shí)間的關(guān)系時(shí)，是以列表清單及/或關(guān)系圖的方式輸出。

10.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于：各所述這些計(jì)數(shù)器還包括偵測器，通過接收所述太陽能晶片反射的信號的次數(shù)，來判斷所述計(jì)數(shù)器是否累加計(jì)次。

11.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)還包括處理器，以同步化所述制程參數(shù)，及所述晶片序號所對應(yīng)的時(shí)間，并標(biāo)記制程參數(shù)異常的太陽能晶片。