[發(fā)明專利]玻璃基板缺陷檢查裝置以及玻璃基板缺陷檢查方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110243261.2
• 申請(qǐng)日: 2011-08-18
• 公開（公告）號(hào): CN102565092A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 荒木正樹;廣井修一;衣川耕平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號(hào): G01N21/958
• 分類號(hào): G01N21/958
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強(qiáng);李家浩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及玻璃基板缺陷檢查裝置以及玻璃基板缺陷檢查方法，與能夠高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置以及玻璃基板缺陷檢查方法有關(guān)。

背景技術(shù)

液晶顯示面板或者太陽能電池面板的制造是利用光刻法技術(shù)等在玻璃基板上形成圖案來進(jìn)行。此時(shí)，如果存在玻璃基板表面的損傷或者異物等缺陷，則不能良好地形成圖案，成為產(chǎn)品不良的原因。因此，一直以來，使用缺陷檢查裝置來進(jìn)行玻璃基板表面損傷或者異物等的缺陷檢查。

為了實(shí)施缺陷檢查，有必要將玻璃基板搬運(yùn)到缺陷檢查裝置來進(jìn)行檢查。以往，使用機(jī)器人或者輥式輸送機(jī)等來搬運(yùn)，但是在搬運(yùn)時(shí)，機(jī)器人的吸附墊片、輥式輸送機(jī)的輥所使用的材料附著在玻璃基板上，導(dǎo)致?lián)p傷或者異物缺陷。因此，在專利文獻(xiàn)1(日本特開2006-188313號(hào)公報(bào))中，作為非接觸地搬運(yùn)玻璃基板的技術(shù)記載了如下結(jié)構(gòu)：吸附玻璃基板端部并保持，使玻璃基板氣懸浮來搬運(yùn)玻璃基板。另外，在專利文獻(xiàn)2(日本特開平9-257642號(hào)公報(bào))中記載了玻璃基板上的損傷或者異物的檢查方法。

對(duì)于上述通過氣懸浮來搬運(yùn)玻璃基板的方式，存在如下問題：由于搬運(yùn)時(shí)的慣性，會(huì)產(chǎn)生玻璃基板前端部跳起等，由此失去搬運(yùn)方向上的平坦性，檢查精度不高。隨著近期玻璃基板變薄，問題愈加明顯。

專利文獻(xiàn)1中雖然公開了搬運(yùn)玻璃基板并在停止后進(jìn)行處理，但是沒有認(rèn)識(shí)到搬運(yùn)過程中進(jìn)行檢查時(shí)的上述問題，更沒有公開針對(duì)問題的解決方案。另外，專利文獻(xiàn)2中雖然公開了光學(xué)式的檢查裝置，但是沒有認(rèn)識(shí)到搬運(yùn)過程中進(jìn)行檢查的上述問課，也沒有公開解決方案。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述課題，目的在于提供能夠確保玻璃基板在搬運(yùn)方向的平坦性、高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者玻璃基板缺陷檢查方法。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明至少具有如下特征。

本發(fā)明的第一方案的特征是，在通過空氣產(chǎn)生懸浮力來使玻璃基板懸浮，將玻璃基板向不存在上述懸浮力的檢查區(qū)域搬運(yùn)，在上述檢查區(qū)域內(nèi)對(duì)上述玻璃基板進(jìn)行攝像并進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者檢查方法中，降低上述檢查區(qū)域內(nèi)的上述玻璃基板搬運(yùn)方向的端部的跳起導(dǎo)致的位移量，進(jìn)行上述檢查。

另外，本發(fā)明的第二方案的特征是，如下進(jìn)行所述降低：測(cè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的所述位移量，基于所述位移量測(cè)定結(jié)果，使進(jìn)行所述攝像的攝像單元移動(dòng)。

并且，本發(fā)明的第三方案的特征是，預(yù)先設(shè)定所述檢查區(qū)域內(nèi)的所述玻璃基板的搬運(yùn)速度的速度模式，基于所述預(yù)先設(shè)定的所述加速度來檢查所述玻璃基板。

并且，本發(fā)明的第四方案的特征是，檢查所述玻璃基板內(nèi)的氣泡、所述玻璃基板表面存在的損傷的至少一種。

并且，本發(fā)明的第五方案的特征是，所述位移量測(cè)定單元為非接觸式激光位移儀。

并且，本發(fā)明的第六方案的特征是，所述檢查以如下方法進(jìn)行：在所述進(jìn)行搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置的下部設(shè)置對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行照明的照明單元，在所述搬運(yùn)裝置的上部設(shè)置所述進(jìn)行攝像的攝像單元。

本發(fā)明的效果如下。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可確保玻璃基板在搬運(yùn)方向的平坦性、高精度地進(jìn)行檢查的玻璃基板缺陷檢查裝置或者玻璃基板缺陷檢查方法。

附圖說明

圖1是表示玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的塊圖。

圖2是表示對(duì)本發(fā)明玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的搬運(yùn)部從上部進(jìn)行觀察得到的概略結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是表示精密懸浮載物臺(tái)和高懸浮部載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)的圖。

圖4是表示離開精密懸浮載物臺(tái)端面的位置上玻璃基板前端位移量的測(cè)定結(jié)果的圖。

圖5是表示本發(fā)明玻璃基板缺陷檢查裝置的第一實(shí)施方式的檢查部的結(jié)構(gòu)的圖。

圖6是表示在一臺(tái)玻璃基板檢查裝置中確保玻璃基板平坦性的本發(fā)明第二實(shí)施方式的控制方法。

圖中：