[發明專利]一種鎢旋轉鍍膜的濺射管靶的制作工藝

有效

• 申請號: 201110242640.X
• 申請日: 2011-08-23
• 公開（公告）號: CN102277558A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 張靈杰
• 申請（專利權）人: 洛陽科威鎢鉬有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/16;B22F3/24;C22F1/18
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 李宗虎

1.一種鎢旋轉鍍膜的濺射管靶的制作工藝，其特征在于：采用鎢粉為原料，鎢粉的純度≥99.95%，粒度在2.6—3.3μm，制作步驟如下：

步驟一、將原料裝入橡膠模套內，制備成空心的粉質鎢管坯，然后采用冷等靜壓機成型，壓力為50—400Mpa，10—20分鐘后固體管坯成型；

步驟二、將成型后的固體管坯放入中頻燒結爐中，爐內通入氫氣，加熱溫度為1900°，加熱時間為30個小時，后采用水循環降溫，8—16小時后冷卻至室溫完成，成型坯體備用；

步驟三、將步驟二處理后的成型坯加熱到1300°—1700°，加熱時間為1—3小時，取出后以沖擊力為750公斤的空氣錘進行鍛打10—20次，鍛打成鎢棒后放入電熱爐中回火半個小時，回火溫度為450°—500°，后備用；

步驟四、將步驟三處理后的鎢棒進行機械加工，鏜孔、車外圓，使表面粗糙度達到Ra1.6~Ra3.2μm后，濺射管靶制作完成。

2.根據權利要求1中所述的一種鎢旋轉鍍膜的濺射管靶的制作工藝，其特征在于：所述的原料中氧≤0.005%、硫≤0.003%、鋁≤0.002%、鐵≤0.005%、鉬≤0.01%、鎂≤0.002%、鎳≤0.003%。