[發明專利]微小深度尺寸自動圖像測量系統

無效

• 申請號: 201110241417.3
• 申請日: 2011-08-22
• 公開（公告）號: CN102419157A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發明（設計）人: 余桂英;黃柳;周敏;徐永明;張波
• 申請（專利權）人: 中國計量學院;杭州富光科技有限公司
• 主分類號: G01B11/22
• 分類號: G01B11/22
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 杜軍

1.微小深度尺寸自動圖像測量系統，包括計算機、四軸運動控制卡、微小深度尺寸測量光路、電動旋轉臺、Z方向電動升降臺、Y方向電動平移臺、X方向電動平移臺、步進電機驅動器、步進電機以及圖像處理軟件，其特征在于：

計算機通過PC104總線接口與四軸運動控制卡相連接，計算機通過USB口與微小深度尺寸測量光路相連接，四軸運動控制卡與四個步進電機驅動器相連接，每個步進電機驅動器與對應的步進電機相連接，步進電機分別安裝在電動旋轉臺、Z方向電動升降臺、Y方向電動平移臺和X方向電動平移臺中，圖像處理軟件安裝在計算機中；

所述的微小深度尺寸測量光路包括半導體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡；半導體激光器發出的光經過柱面鏡形成一個平面光投射在工件表面上，在被測表面上形成一條紅色光帶；紅色光帶經過反射或漫反射，通過濾光片濾去雜光，然后通過顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號經由USB信號傳入計算機中進行保存和處理；

所述的圖像處理軟件包括圖像采集模塊、圖像預處理模塊、自動調焦模塊、X-Y方向定位模塊、參數設置模塊和圖像測量模塊；所述的圖像采集模塊包括圖像采集、顯示及保存操作；所述的圖像預處理模塊包括圖像灰度化、圖像濾波、圖像閾值分割及圖像數學形態學操作；所述的自動調焦模塊包括調焦函數計算、粗調焦和細調焦操作；所述的X-Y方向定位模塊包括特征點提取、X方向定位和Y方向定位操作；所述的參數設置模塊包括設置測量參數以及步進電機參數操作；所述的圖像測量模塊包括邊緣提取、細化、公式計算和圖像標定操作。