[發(fā)明專利]一種用于寬束離子注入機(jī)的引出電極系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110241161.6
• 申請(qǐng)日: 2011-08-22
• 公開（公告）號(hào): CN102956429A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧穎輝;彭立波;林萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01J37/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，即離子注入機(jī)，特別地，涉及一種用于寬束離子注入機(jī)的引出電極系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機(jī)中，離子源引出系統(tǒng)是整機(jī)設(shè)備關(guān)鍵部件之一，其與離子源本體結(jié)合在一起構(gòu)成離子注入機(jī)的核心部件-離子源系統(tǒng)；其決定了離子注入機(jī)諸多性能指標(biāo)，如離子源系統(tǒng)的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品質(zhì)及束穩(wěn)定性能等。

離子注入機(jī)離子源引出電極系統(tǒng)一般采用的是加減速三電極結(jié)構(gòu)，但是當(dāng)我們?yōu)榱说玫降湍艽笫鲿r(shí)，將采用寬縫離子源，這種情況下，三電極結(jié)構(gòu)將很難精確調(diào)節(jié)引出縫和離子源引出縫的位置，本發(fā)明提供了一種用于寬束離子注入機(jī)的引出電極系統(tǒng)，能夠在四個(gè)方向調(diào)節(jié)引出電極的位置，以精確調(diào)節(jié)引出電極引出縫和離子源的位置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明涉及一種用于寬束離子注入機(jī)的引出電極系統(tǒng)。

本發(fā)明所涉及的實(shí)施例包括以下結(jié)構(gòu)件：Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)，移動(dòng)支架(2)，安裝法蘭(3)，引出電極(4)，抑制電極(5)，Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)，Z1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)，Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)，用于連接抑制電極(5)和引出電極(4)的連接柱(9)。

其中Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Y1方向上的運(yùn)動(dòng)，Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Y2方向上的運(yùn)動(dòng)。Z1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)和Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)分別用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Z1方向上和Z2方向上的運(yùn)動(dòng)。

其中Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)和Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)在結(jié)構(gòu)上相對(duì)獨(dú)立，即Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)和Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)都是單獨(dú)運(yùn)動(dòng)，不相互影響，以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在X方向的位置，最終調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的引出縫水平。

其中Z1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在Z方向上的整體運(yùn)動(dòng)，以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)引出縫和離子源引出縫的距離，其中Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)與Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)連接，Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)與Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)相互獨(dú)立，即Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)用于調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)一端的Z方向上的移動(dòng)，以此調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的左右兩端在Z方向上相平。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明專利的限定。

圖1離子源和引出電極系統(tǒng)的排列示意圖。

圖2為引出電極系統(tǒng)的主視示意圖。

圖3為引出電極系統(tǒng)的俯視示意圖。

圖1中包括：離子源(10)，引出電極(4)和抑制電極(5).

圖2和圖3中包括：Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)，移動(dòng)支架(2)，安裝法蘭(3)，引出電極(4)，抑制電極(5)，Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)，Z1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)，Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)，用于連接抑制電極(5)和引出電極(4)的連接柱(9)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖的具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，應(yīng)該理解，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。

如圖1所示，引出電極(4)將離子源(10)中產(chǎn)生的離子束流引出。本專利所涉及的引出電極系統(tǒng)設(shè)置在離子源(10)出口的后方，將離子源(10)產(chǎn)生的束流引出。設(shè)計(jì)良好的引出電極系統(tǒng)對(duì)于離子源(10)的不同放電狀態(tài)以及不同的引出能量，都能自動(dòng)引出光學(xué)品質(zhì)良好的束流。

本發(fā)明提供了一種用于寬束離子注入機(jī)的引出電極系統(tǒng)，下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的主視圖，其中Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Y1方向上的運(yùn)動(dòng)，Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Y2方向上的運(yùn)動(dòng)。

其中Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)和Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)在結(jié)構(gòu)上相對(duì)獨(dú)立，即Y1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)和Y2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)都是單獨(dú)運(yùn)動(dòng)，不相互影響，以此調(diào)節(jié)抑制電極(5)和引出電極(4)在X方向的位置，最終調(diào)節(jié)至抑制電極(5)和引出電極(4)的引出縫水平。

圖3所示為本發(fā)明實(shí)施例的俯視圖，其中Z1方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(7)和Z2方向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)分別用于控制抑制電極(5)和引出電極(4)在Z1方向上和Z2方向上的運(yùn)動(dòng)。