[發(fā)明專利]一種寬帶束流離子源引出電極運動控制系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110241154.6 | 申請日： | 2011-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN102956427A | 公開（公告）日： | 2013-03-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張繼恒;伍三忠;彭立波 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市中關(guān)村科*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 寬帶 流離 引出 電極 運動 控制系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.本發(fā)明提供寬帶束流離子源引出電極運動控制系統(tǒng)，包括：主控計算機(1)、光纖通信卡(2)、四軸電機運動控制卡(3)、Y1軸直流電機(4)、Y2軸直流電機(5)、Z1軸直流電機(6)、Z2軸直流電機(7)、Y1軸直線位移電位器(8)、Y2軸直線位移電位器(9)、Z1軸直線位移電位器(10)、Z1軸直線位移電位器(11)、條行引出電極(12)。
2.權(quán)利1中所述的光纖通信卡(2)插在主控計算機(1)的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和四軸電機運動控制卡(3)之間通過光纖連接傳遞信號。
3.權(quán)利1中所述的四軸電機運動控制卡(3)控制四個直流電機的運動，調(diào)整引出電極在Y1軸、Y2軸、Z1軸、Z2軸四個方向的位移，從而使引出電極的引出縫和離子源腔體的引出縫在同一水平面上，并且保持平行，距離可調(diào)。
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