[發明專利]一種寬帶束流離子源引出電極運動控制系統

無效

• 申請號: 201110241154.6
• 申請日: 2011-08-22
• 公開（公告）號: CN102956427A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 張繼恒;伍三忠;彭立波
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.本發明提供寬帶束流離子源引出電極運動控制系統，包括：主控計算機(1)、光纖通信卡(2)、四軸電機運動控制卡(3)、Y1軸直流電機(4)、Y2軸直流電機(5)、Z1軸直流電機(6)、Z2軸直流電機(7)、Y1軸直線位移電位器(8)、Y2軸直線位移電位器(9)、Z1軸直線位移電位器(10)、Z1軸直線位移電位器(11)、條行引出電極(12)。

2.權利1中所述的光纖通信卡(2)插在主控計算機(1)的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和四軸電機運動控制卡(3)之間通過光纖連接傳遞信號。

3.權利1中所述的四軸電機運動控制卡(3)控制四個直流電機的運動，調整引出電極在Y1軸、Y2軸、Z1軸、Z2軸四個方向的位移，從而使引出電極的引出縫和離子源腔體的引出縫在同一水平面上，并且保持平行，距離可調。