[發明專利]一種引出抑制浪涌保護裝置

無效

• 申請號: 201110241152.7
• 申請日: 2011-08-22
• 公開（公告）號: CN102956426A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 彭彬;唐景庭;林萍
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/04;H02H9/02;H02H9/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種引出抑制浪涌保護裝置，特別地涉及一種用于離子注入機的引出抑制浪涌保護裝置。

背景技術

隨著半導體器件集成度越來越高，半導體工藝設備越來越復雜，對離子源的的束流要求也越來越高。在半導體制造工藝設備離子注入機中，離子源引出系統是整機設備關鍵部件之一，其決定離子源系統的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品質及束穩定性能。然而在許多離子源中采用了三電極引出系統，這三個電極分別叫做正電極、負電極和地電極。引出抑制即加在負電極和地電極間的電場，其能大大減小離子束的空間電荷效應，還可以調節引出離子束的發散角。

發明內容

針對現有半導體工藝中離子注入機設備發展的要求，本發明設計了一種用于離子注入機離子源引出系統保護和吸收引出抑制電極的放電電流裝置。

本發明通過以下技術方案實現：

一種引出抑制浪涌保護裝置，包括：底座(1)、十字沉頭螺釘(2)、PCB支件(3)、半圓螺釘(4)、絕緣筒(5)、高壓電阻(6)、高壓二極管(7)、印制板(8)、半圓螺釘(9)、電極(10)、彈簧(11)、插銷導管(12)、頂蓋(13)和高壓連接器(14)。

其中所述底座(1)和所述頂蓋(13)通過所述十字沉頭螺釘(2)與絕緣筒(5)相連；其中所述PCB支件(3)通過所述半圓螺釘(4)與印制板(8)相連，再固定在底座(1)上；其中所述高壓電阻(6)和高壓二極管(7)直接焊接在印制板(8)上；其中所述電極(10)通過半圓螺釘(9)與印制板(8)相連；其中所述高壓連接器(14)安裝在頂蓋(13)上；所述彈簧(11)固定在電極(10)上。

所述高壓電阻(6)間通過并聯的方式進行焊接，所述高壓二極管(7)根據負載需要通過串聯的方式相連。其中所述高壓電阻(6)間與高壓二極管(7)串聯。

本發明專利具有如下顯著優點：

1.結構連接穩定可靠，性能好特點；

2.結構連接操作方便，保證長期工作的可靠穩定性；

3.所述的高壓電阻(6)的阻值可以根據具體情況增加或減少；所述的高壓二極管(7)的耐壓范圍可以適當的增加或減少高壓二極管的數量以及提高或降低單個高壓二極管的反向擊穿電壓來滿足負載的需求。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。

圖1引出抑制浪涌保護裝置的剖面圖；

圖2引出抑制浪涌保護裝置一種實施方式的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖的具體實施例對本發明作進一步介紹，應該理解，這些描述都是說明性的，本發明不限于此。本發明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。

圖1中示出了一種引出抑制浪涌保護裝置，其包括：底座(1)、十字沉頭螺釘(2)、PCB支件(3)、半圓螺釘(4)、絕緣筒(5)、高壓電阻(6)、高壓二極管(7)、印制板(8)、半圓螺釘(9)、電極(10)、彈簧(11)、插銷導管(12)、頂蓋(13)和高壓連接器(14)。

其中所述底座(1)和所述頂蓋(13)通過所述十字沉頭螺釘(2)與絕緣筒(5)相連；其中所述PCB支件(3)通過所述半圓螺釘(4)與印制板(8)相連，再固定在底座(1)上；其中所述高壓電阻(6)和高壓二極管(7)直接焊接在印制板(8)上；其中所述電極(10)通過半圓螺釘(9)與印制板(8)相連；其中所述高壓連接器(14)安裝在頂蓋(13)上；所述彈簧(11)固定在電極(10)上，用于增大與引出抑制輸出線的接觸面積。

所述高壓電阻(6)間通過并聯的方式進行焊接，所述高壓二極管(7)通過串聯的方式相連。其中所述高壓電阻(6)間與高壓二極管(7)串聯。所述的高壓電阻(6)的阻值可以根據具體情況增加或減少；所述的高壓二極管(7)的耐壓范圍也可以適當的增加或減少高壓二極管的數量以及提高或降低單個高壓二極管的反向擊穿電壓來滿足負載的需求。

在圖2引出抑制浪涌保護裝置的實施方式示意圖中，高壓電阻R1、R2、R3、R4和R5并聯，高壓二極管D1、D2、D3、D4、D5、D6、D7和D8依次串聯后與并聯后的電阻串聯。高壓電阻R1、R2、R3、R4和R5采用阻值為500歐姆，功率為12.5W的金屬膜電阻來吸收離子源及引出系統因打火引起的放電電流；高壓二極管D1、D2、D3、D4、D5、D6、D7和D8采用耐壓12KV型號為HDM12串聯，來防止引出抑制電極因打火累積過高的電壓擊穿引出抑制電源倍壓部分。