[發明專利]一種離子源燈絲及其夾持裝置無效
| 申請號: | 201110241135.3 | 申請日: | 2011-08-22 |
| 公開(公告)號: | CN102956421A | 公開(公告)日: | 2013-03-06 |
| 發明(設計)人: | 胡寶富;彭立波;伍三忠 | 申請(專利權)人: | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | H01J37/08 | 分類號: | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 101111 北京市中關村科*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 離子源 燈絲 及其 夾持 裝置 | ||
1.一種離子源燈絲極其夾持裝置,特別適用于離子注入機用離子源。一種離子注入機用離子源,可以產生寬帶束或扁狀帶束,為使其正常工作發明一種燈絲及燈絲夾持裝置,以產生穩定的強電子。主要包括:燈絲(1)、燈絲聯接桿(2)、石墨支撐板(3)、絕緣陶瓷座(4)、絲夾(5)和電源輸入帶(6)等。
2.如權力要求1所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置,該裝置特征在于,采用特別的燈絲(1)安裝于燈絲聯接桿(2)上。
3.如權力要求1所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置,該裝置特征在于,采用特別的絲夾(5)聯接燈絲聯接桿(2)和電源輸入帶(6)。
4.如權力要求1所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置,該裝置特征在于,絲夾(5)與電源輸入帶(6)通過雙螺栓聯接。
5.如權力要求2所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置,該裝置特征在于,離子源的燈絲(1)采用迷宮式旋轉對稱結構。
6.如權力要求3所述的一種離子源燈絲極其夾持裝置,該裝置特征在于,絲夾(5)采用刀形結構,既可以牢固的夾持燈絲聯接桿(2),又有很好的導電性。
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