[發(fā)明專利]一種金屬薄膜微米尺度熱電偶器件無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110241103.3 | 申請(qǐng)日: | 2011-08-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102419217A | 公開(公告)日: | 2012-04-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 孫偉強(qiáng);劉海嘯;許勝勇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01K7/04 | 分類號(hào): | G01K7/04 |
| 代理公司: | 北京萬(wàn)象新悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11360 | 代理人: | 賈曉玲 |
| 地址: | 100871*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 金屬 薄膜 微米 尺度 熱電偶 器件 | ||
1.一種熱電偶器件,包括絕緣基片,在絕緣基片上附著有金屬薄膜熱電偶或多個(gè)金屬薄膜熱電偶構(gòu)成的熱電偶陣列,其特征在于,所述金屬薄膜熱電偶為單種金屬的兩條對(duì)折薄膜,其中,窄條帶的寬度小于20微米,另一條寬條帶的寬度大于100微米。
2.如權(quán)利要求1所述的熱電偶器件,其特征在于,所述金屬薄膜的材料為Cr,Ni,Pd,Sc,Ta,Ti,Zr,Bi中的一種。
3.如權(quán)利要求1所述的熱電偶器件,其特征在于,由N個(gè)熱電偶組合而成的熱電偶陣列中,每個(gè)熱電偶引出兩路信號(hào),通過(guò)2N個(gè)電路引線分別引至電壓表。
4.如權(quán)利要求1所述的熱電偶器件,其特征在于,所述由N個(gè)熱電偶組合而成的熱電偶陣列中,每個(gè)熱電偶的一端共同連接作為地線,通過(guò)N+1個(gè)電路引線分別引至電壓表。
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