[發明專利]一種用于激光加工的旋轉窗片裝置

有效

• 申請號: 201110240538.6
• 申請日: 2011-08-19
• 公開（公告）號: CN102280366A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 嚴利人;周衛;劉朋;竇維治
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;B23K26/42
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 史雙元

1.一種用于激光加工的旋轉窗片裝置，其特征在于，隔離罩的窗片固定在隔離罩支撐件的一邊，隔離罩支撐件固定在隔離罩支撐件環形壁頂端，隔離罩支撐件環形壁由軸承部件支撐在加熱器的隔熱材料層外圓周壁上；晶圓片置于加熱片臺上。

2.根據權利要求1所述用于激光加工的旋轉窗片裝置，其特征在于，所述窗片的尺寸只是覆蓋晶圓片的一部分，隔離罩放置在片臺之上，通過軸承與片臺接觸，并且可由外部電機帶動，圍繞晶圓片中心旋轉，隨隔離罩整體轉動，當退火激光束在晶圓片表面做掃描時，窗片會及時轉動到正在和將要進行激光作用的區域上方，因此并不妨礙激光對于晶圓片表面的退火。

3.根據權利要求1所述用于激光加工的旋轉窗片裝置，其特征在于，所述隔離罩的支撐件及隔離罩支撐件環形壁均為不透明的，用金屬或包括陶瓷在內的非金屬材料制造。

4.根據權利要求1所述用于激光加工的旋轉窗片裝置，其特征在于，所述窗片為透明材料制成，隔離罩窗片制作成為圓形，直徑略大于晶圓片的半徑，即通過旋轉，可使激光能夠透過的區域覆蓋全部的晶圓片表面。

5.根據權利要求1所述的窗片的旋轉，其特征在于，是在計算機程序的控制下，使得片臺相對于激光光束的掃描移動和窗片旋轉運動兩者相協調的，這里，片臺相對于激光束的掃描移動將攜帶窗片離開光束位置，而窗片本身運動又使得窗片旋轉回到激光束的下方。