[發明專利]硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法及其設備

有效

• 申請號: 201110239229.7
• 申請日: 2011-08-19
• 公開（公告）號: CN102952621A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 楊志中
• 申請（專利權）人: 臺灣水再生科技股份有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00;C10M175/06;B01D61/18;C01B33/02;C01B31/36;C01B33/113
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

1.一種硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，包含以下步驟：

步驟A：將預先經過脫水后的一濾餅置入一處理槽中，該濾餅是自硅晶圓切割研磨后所產生的漿狀廢油泥進行壓濾后所生成，并且至少含有硅粉、碳化硅以及由聚乙二醇為主所構成的殘留切削液；

步驟B：在該處理槽內加入一催化劑，使該濾餅被混合稀釋成一工作液體，且可促使工作液體中的硅與該催化劑產生催化反應后，以生成固態的二氧化硅及氣態的氫氣；

步驟C：將處理槽內的氫氣抽引入一集氣槽內壓縮儲置；

步驟D：利用比重分離方式在已稀釋污泥濃度后的工作液體之中，更進一步地分離出其內的硅及碳化硅，以便選別回收；

步驟E：將選別出硅及碳化硅的工作液體，再利用膜過濾方式進行固液分離，促使該工作液體能被分離成固態的二氧化硅及液態的水、聚乙二醇；以及

步驟F：將液態的水及聚乙二醇再經過逆滲透處理后，而獲得可再利用的水以及以聚乙二醇為主成份的回收切削液。

2.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟B時，所加入的催化劑為水。

3.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟E時，所使用的固液分離是采用圓型平板UF膜來進行分離。

4.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟F之后，可將經過逆滲透回收后的水，再引回該處理槽中，供步驟B的催化劑來使用。

5.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟F之后，液態的聚乙二醇再以蒸餾方式除去其殘留水分及廢油，以形成可供再使用的再生油。

6.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟F時，是以RO或NF膜來進行逆滲透處理。

7.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟B時，還包含有在該處理槽內打入加壓氣體，以混合成該工作液體。

8.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟D之后，更具有將選別后的硅及碳化硅經過干燥處理，以便包裝回收。

9.如權利要求1所述的硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理方法，其特征在于，在步驟E時，是以負壓吸力來抽取工作水體中的水及聚乙二醇。

10.一種硅晶圓切割研磨廢棄物的回收處理設備，其特征在于，包含：

?一處理槽，為密閉式的容器，用以容置廢棄濾餅及水液混后的工作液體，具有一高于液面高度的投料口、一用以抽引氫氣的排氣口，以及一曝氣孔；

一集氣槽，用來回收產生于該處理槽內的氫氣；

一過濾槽，具有一伸縮管，該伸縮管自外部延伸入該處理槽內，其底端具有一活動吸嘴，用以將工作液體內的水、二氧化硅及聚乙二醇等液體抽送至該過濾槽內；

一固液分離單元，為圓型平板UF膜組并設置在該過濾槽內，具有多個UF膜、組串有前述UF膜且呈水平可樞轉的一集液管、一位于該過濾槽外部用以帶動UF膜以集液管為中心轉動的馬達，以及一用來唧取透過UF膜且匯集到該集液管內液體的抽油泵；以及

一逆滲透過濾單元，接設在該抽油泵的出水端，用以進一步地分離出水及濃縮的聚乙二醇，而獲得可回收再利用的水及以聚乙二醇為主成份的再生油，該逆滲透過濾裝置具有一使回收的水可借著該回水管路抽引回該處理槽內的回水管路。