[發明專利]液晶顯示屏用鉻蝕刻液及其制備方法有效
| 申請號： | 201110239175.4 | 申請日： | 2011-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN102277573A | 公開（公告）日： | 2011-12-14 |
| 發明（設計）人： | 馮衛文 | 申請（專利權）人： | 綿陽艾薩斯電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/26 | 分類號： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245 | 代理人： | 關暢 |
| 地址： | 621000 四川省綿*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液晶顯示屏 蝕刻 及其 制備 方法 | ||
1.一種蝕刻液，包括硝酸鈰銨、鄰氟苯甲酸、雙氧水和水。
2.根據權利要求1所述的蝕刻液，其特征在于：所述蝕刻液是由硝酸鈰銨、鄰氟苯甲酸、雙氧水和水組成。
3.根據權利要求1或2所述的蝕刻液，其特征在于：所述水為去離子水。
4.根據權利要求1-3任一所述的蝕刻液，其特征在于：所述硝酸鈰銨占所述蝕刻液總重的5-30％，優選10-25％，更優選20％；
所述鄰氟苯甲酸占所述蝕刻液總重的0.1-10％，優選1-5％；
所述雙氧水占所述蝕刻液總重的1-15％，優選5-10％；
余量為所述水。
5.一種制備權利要求1-4任一所述蝕刻液的方法，包括如下步驟：將所述硝酸鈰銨、鄰氟苯甲酸、雙氧水和水混勻，得到所述蝕刻液。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于：所述水為去離子水。
7.根據權利要求5或6所述的蝕刻液，其特征在于：所述硝酸鈰銨占所述蝕刻液總重的5-30％，優選10-25％，更優選20％；
所述鄰氟苯甲酸占所述蝕刻液總重的0.1-10％，優選1-5％；
所述雙氧水占所述蝕刻液總重的1-15％，優選5-10％；
余量為所述水。
8.根據權利要求5-7任一所述的方法，其特征在于：所述制備權利1-4任一所述蝕刻液的方法，還包括如下步驟：在所述混勻步驟之后，將所述蝕刻液過濾。
9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于：所述過濾步驟中，濾網孔徑不大于0.2μm，優選0.2μm。
10.權利要求1-4任一所述蝕刻液在蝕刻鉻金屬膜中的應用。
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