[發明專利]液晶顯示屏含鋁膜的蝕刻液

無效

• 申請號: 201110238648.9
• 申請日: 2011-08-19
• 公開（公告）號: CN102304714A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發明（設計）人: 馮衛文
• 申請（專利權）人: 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
• 主分類號: C23F1/20
• 分類號: C23F1/20
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢

1.一種蝕刻液，包括磷酸、硝酸、非離子表面活性劑、有機酸鹽和水。

2.根據權利要求1所述的蝕刻液，其特征在于：所述蝕刻液由所述磷酸、硝酸、非離子表面活性劑、有機酸鹽和水組成。

3.根據權利要求1或2所述的蝕刻液，其特征在于：所述非離子表面活性劑為司盤類非離子表面活性劑。

4.根據權利要求3所述的蝕刻液，其特征在于：所述司盤類非離子表面活性劑選白式I所示失水山梨醇單月桂酸酯、式II所示失水山梨醇棕櫚酸酯和式III所示失水山梨糖醇單硬脂酸酯中的至少一種，

式I

式II

式III。

5.根據權利要求1-4任一所述的蝕刻液，其特征在于：所述有機酸鹽為式IV所示鄰三氟甲基苯甲酸鈉；

式IV

所述水為去離子水。

6.根據權利要求1-5任一所述的蝕刻液，其特征在于：所述非離子表面活性劑占所述蝕刻液總重的百分比濃度為0.01-5％，優選為0.1-2％；

所述有機酸鹽占所述蝕刻液總重的百分比濃度為0.5-15％，優選為1-5％；

所述磷酸占所述蝕刻液總重的百分比濃度為20-42％，優選為26-37％；

所述硝酸占所述蝕刻液總重的百分比濃度為0.65-20％，優選為3.25-13％；

余量為所述水。

7.一種制備權利要求1-6任一所述蝕刻液的方法，包括如下步驟：將權利要求1-6任一所述原料混勻，得到所述蝕刻液。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于：所述制備權利1-6任一所述蝕刻液的方法，還包括如下步驟：在所述混勻步驟之后，將所述蝕刻液過濾。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于：所述過濾步驟中，濾網孔徑不大于0.2μm，優選0.2μm。

10.權利要求1-6任一所述蝕刻液在蝕刻含鋁膜中的應用。