[發明專利]吊起干燥裝置、使用其的磁記錄介質用基板或磁記錄介質的制造方法

有效

• 申請號: 201110235514.1
• 申請日: 2011-08-16
• 公開（公告）號: CN102376315A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 坂口龍二;田中良;大島德夫
• 申請（專利權）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: G11B5/84
• 分類號: G11B5/84;G11B5/667;F26B21/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 段承恩;陳海紅

技術領域

本發明涉及在一邊將具有中心孔的圓盤狀的基板浸漬在清洗槽內的清洗液中一邊進行基板的清洗之后、將該基板吊起并干燥的吊起干燥裝置以及使用該吊起干燥裝置的磁記錄介質用基板或磁記錄介質的制造方法。

本申請要求基于2010年8月18日提出申請的日本專利申請第2010-183211號的優先權，在此援引其內容。

背景技術

例如，在搭載于信息設備等的硬盤驅動器等中，使用具有中心孔的圓盤狀的磁記錄介質用基板。這樣的磁記錄介質用基板，通過使用由鋁合金和/或玻璃等形成的基板，經由切削工序或磨削工序、研磨工序、濺射工序(sputtering?process)、鍍敷工序等的各種處理工序來制造，另外，在進行了這些處理工序之后，進行清洗基板表面并使其干燥的工序。

然而，近年，出于對記錄介質的大容量化和信息設備等的小型化的要求，磁記錄介質的記錄密度變得越來越高。另外，對于這樣的磁記錄介質用基板和/或使用其的磁記錄介質來說，要求能夠應對在其記錄面上懸浮運行的磁頭的低懸浮化的高平坦度。

因此，對于磁記錄介質用基板和磁記錄介質而言，要求下述高級別的清洗方法和干燥方法，所述高級別的清洗方法，在施加了研磨加工、濺射成膜等的各種各樣的表面處理之后，能夠將附著在基板表面的塵埃等去除，所述干燥方法用于清潔地干燥已清洗的基板。

以往，作為基板的清洗和干燥方法，在大直徑的基板的情況下，將許多塊基板收置在被稱為載體的容器中，一邊在清洗液中運送，一邊通過多個清洗刷進行刷洗(scrub)清洗之后，使基板旋轉以使其進行旋轉式干燥。

另外，提出了如下清洗裝置：以磁盤基板等作為工件，在其表面進行研磨加工等的表面處理之后，為了去除附著在工件的表面的異物等，使用多個清洗槽，一邊通過運送設備(conveyor)運送工件一邊使用液體進行清洗(參照專利文獻1。)。

另外，提出如下晶片(wafer)干燥裝置：以半導體基板作為晶片，將收置有多塊晶片的盒子收置于吊架(cradle)，為了防止水滴和/或塵埃滯留在晶片上，一邊用具有V字槽的部件保持晶片使其平行地分開，一邊使吊架旋轉(參照專利文獻2。)。

另外，提出了如下技術方案：在將附著在中央具有開口部的圓盤狀磁盤(盤、disk)的清洗液通過使該磁盤旋轉來去除的旋轉式干燥裝置中，將夾卡外周部的卡盤部件和被夾卡的磁盤接觸的接觸部的一部分設為卡盤部件和磁盤不接觸的非接觸部，有效地去除滯留在卡盤部件的清洗液(參照專利文獻3。)。

另外，提出了如下技術方案：在將附著在中央具有開口部的圓盤狀磁盤(盤、disk)的清洗液通過使該磁盤旋轉來去除的旋轉式干燥裝置中，通過夾卡內周部的卡盤部件以磁盤立起的狀態卡夾磁盤，設置朝向卡盤部件和磁盤的抵接部的旋轉方向上的后方側供給空氣的供給部，有效地去除滯留在卡盤部件的清洗液(參照專利文獻4。)。

另外，作為晶片狀的基板的干燥方法，已知有吊起干燥法(參照專利文獻5。)。所謂吊起干燥法是如下的方法：將清洗后的晶片保持在夾卡裝置并浸漬在純水中，其后，一邊使夾卡裝置上升使晶片的上方部從純水中懸浮，一邊去除懸浮的部分的純水，其后，將晶片整個表面從純水中吊起從而使晶片干燥的方法。

專利文獻1：日本特開2001-96245號公報

專利文獻2：日本特開平8-45894號公報

專利文獻3：日本特開2003-257017號公報

專利文獻4：日本專利第2782838號公報

專利文獻5：日本特開平10-189529號公報

發明內容

上述的吊起干燥法，裝置的構造簡單，能夠同時處理許多的基板，因此，作為晶片狀的基板的干燥方法被廣為使用。但是，吊起干燥法，在磁記錄介質用基板和/或磁記錄介質的干燥中用得并不多。即，在使用該吊起干燥法的情況下，例如像圖3A～3C示意地所示那樣，在基板D從純水W離開的瞬間由于表面張力而隆起的純水W飛濺，該飛濺起的液滴P再度附著在基板D。另外，污垢凝聚于再度附著在基板D的液滴P的情況多，該污垢在基板D上形成干燥污點。而且，形成該干燥污點的部位為磁記錄介質的記錄面，因此，這成為磁記錄介質的不良扇區(sector)。

本發明是鑒于這樣的以往的情況而提出的，其目的是提供：在一邊將具有中心孔的圓盤狀的基板浸漬在清洗槽內的清洗液中一邊進行基板的清洗之后，在將該基板吊起并干燥時防止產生干燥污點的吊起干燥裝置以及使用其的磁記錄介質用基板或磁記錄介質的制造方法。