[發(fā)明專利]一種能同時壓縮光斑并提高分辨率的光路

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110235310.8
• 申請日: 2011-08-16
• 公開（公告）號: CN102419205A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發(fā)明（設計）人: 楊懷棟;葉闖;金國潘
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02;G02B17/06;G02B5/10
• 代理公司: 北京思海天達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 樓艮基

1.一種能同時壓縮光斑并提高分辨率的光路，其特征在于，含有樣品光路和色散光路，其中：

樣品光路含有光源(1)，第一平面反射鏡(21)，第一反射鏡(31)，樣品室(4)，第二反射鏡(32)，第二平面反射鏡(22)以及狹縫(5)，其中：

第一平面反射鏡(21)，接收所述光源(1)發(fā)出的入射光并向所述第一反射鏡(31)反射輸出，

第一反射鏡(31)，接收所述第一平面反射鏡(21)的輸出光并向所述樣品室(4)反射輸出，

樣品室(4)，接收所述第一反射鏡(31)的輸出光并把透過樣品后得到的光束入射到所述第二反射鏡(32)上，

第二反射鏡(32)，接收所述樣品室(4)的輸出光并向所述第二平面反射鏡(22)反射輸出，

第二平面反射鏡(22)，接收所述第二反射鏡(32)的輸出光并向狹縫(5)反射輸出；

色散光路含有作準直物鏡用的第三反射鏡(33)，光柵(6)，作成像物鏡用的第四反射鏡(34)和探測器(7)，其中：

第三反射鏡(33)，接收所述狹縫(5)的輸出光并向所述光柵(6)反射輸出，

光柵(6)，接收所述第三反射鏡(33)的輸出光并向所述第四反射鏡(34)衍射輸出，

第四反射鏡(34)，接收所述光柵(6)的輸出光并向所述探測器(7)反射輸出，其中：

所述的四個反射鏡(31、32、33、34)均采用超環(huán)面鏡，且超環(huán)面鏡在弧矢方向的曲率半徑ρ₃按如下公式計算

ρ₃＝R₃cos²α₃，

其中R₃為超環(huán)面鏡在子午方向的曲率半徑，α₃為波長為190nm的主光線對超環(huán)面鏡的離軸角；

在所述的色散光路中，所述準直物鏡(33)子午方向的曲率半徑R₃₃、成像物鏡(34)子午方向的曲率半徑R₃₄、波長為190nm的主光線對所述準直物鏡(33)的離軸角α₃₃、波長為190nm的主光線對所述成像物鏡(34)的離軸角α₃₄、波長為190nm的主光線對所述光柵(6)的入射角i和衍射角θ應滿足下述關(guān)系式

sinα34sinα33=R342cos3α34cos3iR332cos3α33cos3θ;]]>

所述各角α₃₁、α₃₂、α₃₃、α₃₄、i、θ以及各子午方向曲率半徑R₃₁、R₃₂、R₃₃、R₃₄的取值范圍分別為

α₃₁＝14.3°～14.7°，

α₃₂＝10.8°～11.1°，

α₃₃＝5.9°～6.3°，

α₃₄＝7.5°～8.1°，

i＝3.8877°，

θ＝24.1923°，

R₃₁＝250.7mm～251.1mm，

R₃₂＝215.9mm～216.2mm，

R₃₃＝600mm，

R₃₄＝600mm。