[發明專利]磁記錄介質用玻璃基板的制造方法

有效

• 申請號: 201110233835.8
• 申請日: 2011-08-15
• 公開（公告）號: CN102376314A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 羽根田和幸
• 申請（專利權）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: G11B5/84
• 分類號: G11B5/84;G11B5/73
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 段承恩;田欣

技術領域

本發明涉及磁記錄介質用玻璃基板的制造方法。

背景技術

硬盤驅動器(HDD)中所使用的磁記錄介質，正在謀求其記錄密度的顯著提高。尤其是導入MR磁頭和PRML技術以來，面記錄密度的上升更加飛速地增加，近年來GMR磁頭和TMR磁頭等也被導入，每一年在以大約1.5倍的速度繼續增加，今后要求實現進一步的高記錄密度化。

另外，伴隨著這樣的磁記錄介質的記錄密度提高，對其磁記錄介質用基板的要求也在提高。作為磁記錄介質用基板，自以往就使用了鋁基板和玻璃基板。其中，玻璃基板關于其硬度、表面平滑性、剛性、耐沖出性一般比鋁基板優異。因此，能夠謀求高記錄密度化的磁記錄介質用玻璃基板的注目度在提高。

制造磁記錄介質用玻璃基板時，對于通過從大的板狀的玻璃板上切取圓盤狀的玻璃基板、或者使用成型模由熔融玻璃直接壓制成型出圓盤狀的玻璃基板而得到的玻璃基板的表面和端面，實施磨削(lap)加工和拋光(研磨；polish)加工。

另外，在以往的磁記錄介質用玻璃基板的制造工序中，對玻璃基板的表面(數據面)依次進行一次磨削加工、二次磨削加工、一次拋光加工(研磨)、二次拋光加工(研磨)。并且，在這些加工工序之間增加對玻璃基板的內外周的端面的磨削加工和拋光加工。

在此，對于玻璃基板的數據面，一般地在一次磨削加工中使用金剛石砂輪，在二次磨削加工中使用粒徑比一次磨削加工時小的金剛石砂輪，在一次拋光加工中使用氧化鈰漿，在二次拋光加工中使用粒徑比一次拋光加工時小的氧化鈰漿。

另外，作為與本發明相關的現有技術文獻，例如有下述專利文獻1。在該專利文獻1中，公開了：通過實施使用了樹脂、金屬、陶瓷(vitrified)等的金剛石粒料的一次磨削加工、和其后使用了金剛石墊的二次磨削加工，可實現表面的平滑性且沒有劃痕、磨削痕、吸引痕等缺陷，而且能以短時間進行加工。

專利文獻1：日本專利第4049510號公報

發明內容

然而，伴隨著最近的磁頭的低浮起量化，關于磁記錄介質用玻璃基板的表面的波紋、表面粗糙度，要求高于目前的特性。因此，通過本發明者的研究明確了以下情況：在一次磨削加工中雖然有每一面為100μm～300μm的磨削量，但是在該一次磨削加工中若對玻璃基板給予了損傷，則玻璃基板中產生加工應變，這成為作為最終制品的磁記錄介質的介質表面的長周期的波紋(起伏)的原因。

另外，玻璃基板的研磨使用利用了氧化鈰的化學機械性研磨(CMP)已成為技術常識，但氧化鈰昂貴，因此要求確立不使用氧化鈰或減少其使用量的制造技術。

本發明是鑒于這樣的現有狀況而提出的，其目的是提供能夠以高的生產率制造表面平滑性高、表面的波紋少的磁記錄介質用玻璃基板的磁記錄介質用玻璃基板制造方法。

本發明提供以下的發明。

(1)一種磁記錄介質用玻璃基板的制造方法，是至少順序地包括對玻璃基板的端面除外的表面實施一次磨削加工的工序、實施二次磨削加工的工序、實施三次磨削加工的工序和實施拋光加工的工序的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在上述一次、二次和三次磨削加工中，使用由粘結劑固定了金剛石磨粒的金剛石墊，該金剛石墊的磨削面具有排列地設置有多個具有平坦的頂部的磚狀的凸部的結構，

用于上述一次磨削加工的金剛石墊，上述金剛石磨粒的平均粒徑為4μm以上、12μm以下，上述凸部中的金剛石磨粒的含有量為5～70體積％，

用于上述二次磨削加工的金剛石墊，上述金剛石磨粒的平均粒徑為1μm以上、5μm以下，上述凸部中的金剛石磨粒的含有量為5～80體積％，

用于上述三次磨削加工的金剛石墊，上述金剛石磨粒的平均粒徑為0.2μm以上且小于2μm，上述凸部中的金剛石磨粒的含有量為5～80體積％，

在上述拋光加工中，使用氧化硅作為研磨劑。

(2)根據前項(1)所述的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法，其特征在于，用于上述一次、二次和三次磨削加工的金剛石墊，上述凸部的外形尺寸為1.5～5mm見方，高度為0.2～3mm，相鄰的凸部之間的間隔為0.5～3mm。

(3)一種磁記錄介質用玻璃基板的制造方法，是至少順序地包括對玻璃基板的端面除外的表面實施一次磨削加工的工序、實施二次磨削加工的工序和實施拋光加工的工序的磁記錄介質用玻璃基板的制造方法，其特征在于，

在上述一次和二次磨削加工中，使用由粘結劑固定了金剛石磨粒的金剛石墊，該金剛石墊的磨削面具有排列地設置有多個具有平坦的頂部的磚狀的凸部的結構，