[發明專利]新型單晶爐熱場無效
| 申請號： | 201110231905.6 | 申請日： | 2011-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN102345160A | 公開（公告）日： | 2012-02-08 |
| 發明（設計）人： | 尚海波;韓建超;沈楊宇 | 申請（專利權）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/14 | 分類號： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海脫穎律師事務所 31259 | 代理人： | 李強 |
| 地址： | 201617 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 新型 單晶爐熱場 | ||
【權利要求書】：
1.新型單晶爐熱場，包括保溫筒，保溫筒內設置有加熱器，加熱器圍繞石墨坩堝設置，石墨坩堝內設置有石英坩堝；其特征在于，所述加熱器與電極通過螺絲連接，螺絲平行于爐筒軸向設置。
2.根據權利要求1所述的新型單晶爐熱場，其特征在于，所述的加熱器上方設置有隔熱擋板。
3.根據權利要求2所述的新型單晶爐熱場，其特征在于，所述保溫筒包括上保溫筒和下保溫筒，上保溫筒與下保溫筒連接，所述的上保溫筒內壁比下保溫筒內壁更靠近石墨坩堝。。
4.根據權利要求3所述的新型單晶爐熱場，其特征在于，所述保溫筒內設置有隔熱擋板，所述隔熱擋板設置于上保溫筒與下保溫筒之間。
5.根據權利要求1所述的新型單晶爐熱場，其特征在于，所述加熱器下方設置有保溫擋圈。
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