[發明專利]用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具

有效

• 申請號: 201110231799.1
• 申請日: 2011-08-14
• 公開（公告）號: CN102345171A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 黃春峰;李強
• 申請（專利權）人: 上海合晶硅材料有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C23F1/08;C23F1/32
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

技術領域

本發明涉及一種用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具。

背景技術

硅片在研磨后的腐蝕工藝主要有酸腐蝕和堿腐蝕兩種。較酸腐蝕而言，堿腐蝕主要優點為加工成本低，環境污染小特點。對于小尺寸產品(3～5寸)，多半采用堿腐蝕工藝。

堿腐蝕工藝中比較難控制的是硅片在腐蝕過程中的漂浮狀態以及腐蝕后硅片表面堿液沖洗。為了控制硅片在堿腐蝕過程的漂浮高度和便于清洗，需要把硅片放在合適的夾具中。堿腐蝕中常用的一種夾具是片架和花籃的組合。如圖1所示為花籃結構示意圖。其結構包括支撐框1和提架2。支撐框1設置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一連桿21和第二連桿22。第一連桿21和第二連桿22均為一端與支撐框1連接，另一端通過橫桿23連接。橫桿23兩端分別設置有第一螺母24和第二螺母25。如圖2所示為一種片架3結構示意圖。使用時，硅片放置于片架3內。四個片架3分別放置于第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。再將夾具放入堿液內對硅片進行堿腐蝕處理。這種夾具存在的最大問題是不能控制硅片的漂浮狀態，導致硅片表面部分過度腐蝕或腐蝕不足，這個問題嚴重影響了堿腐蝕成品率。使用這種提籃進行堿腐蝕時，良率約為99.2％。

發明內容

本發明的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種用于硅片堿腐蝕加工，可控制硅片在堿腐蝕過程的漂浮高度的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具。

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案實現：

用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，包括支撐框，支撐框設置有放置片架的通孔；支撐框上安裝有提架，其特征在于，所述提架包括至少兩根與支撐框垂直的連桿，兩根連桿端部通過橫桿連接；還包括壓條，所述壓條可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。

優選地是，所述壓條橫跨通孔。

優選地是，還包括壓框，所述壓條安裝于壓框上；所述壓框可靠近支撐框或遠離支撐框運動地安裝在提架上。

優選地是，所述壓框形狀與支撐框形狀相適應；所述壓框與連桿可拆卸連接。

優選地是，所述提架包括兩根連桿和一根橫桿；兩根連桿分別有一端與支撐框連接，另一端通過橫桿連接；所述壓框可沿連桿移動卡設于兩根連桿上。

優選地是，所述支撐框設置有與連桿相配合的兩個開口；兩根連桿分別與兩個開口相配合。

優選地是，所述壓框上設置有限位塊，限位塊位于壓框與支撐框之間。

優選地是，所述限位塊可拆卸地安裝在壓框上。

優選地是，還包括用于放置硅片的片架，所述片架設置在通孔內。

本發明中的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，可方便地調整壓框的位置，既方便限制硅片的漂浮高度，又方便將片架裝配在支撐框上。調整壓框的位置時，只需沿著連桿推動壓框即可，調整方便。壓框上安裝有限位塊，限制壓框的移動距離，可防止用力過大時壓壞硅片。限位塊可拆卸安裝在壓框上，方便更換。利用壓條限制硅片的漂浮，壓條采用圓柱形時可避免阻擋沖洗液，不會妨礙沖洗硅片。本發明結構簡單，使用方便，制造成本低。使用本發明中的夾具，硅片堿腐蝕良率可達到99.8％以上。

附圖說明

圖1為一種提籃結構示意圖。

圖2為一種片架結構示意圖。

圖3為本發明中的用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具結構示意圖。

圖4為本發明中的壓框結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明進行詳細的描述：

如圖3、圖4所示，用于硅片堿腐蝕加工的新型夾具，其結構包括支撐框1和提架2。支撐框1為長方形形狀。支撐框1設置有第一通孔11、第二通孔12、第三通孔13和第四通孔14。提架2包括第一連桿21和第二連桿22。第一連桿21和第二連桿22均為一端與支撐框1連接，另一端通過橫桿23連接。橫桿23兩端分別設置有第一螺母24和第二螺母25。