[發明專利]一種激光式壓力傳感器

有效

• 申請號: 201110228701.7
• 申請日: 2011-08-10
• 公開（公告）號: CN102359838A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 陳擁軍
• 申請（專利權）人: 陳擁軍
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光式壓力傳感器，其特征在于，具體包括：

壓力敏感組件(1)、控制電路(2)和外殼(13)，所述壓力敏感組件(1) 的信號通過連線(11)與所述控制電路(2)連接在一起；其中，所述壓力敏感 組件(1)的殼體形成壓力孔(3)和腔體(4)，其中，所述腔體(4)內部安裝 有彈性膜片(5)、遮光片(6)和透光槽(7)、激光二極管或普通發光二極管(9) (12)和光電二極管(8)和光電二極管(10)，其中，所述光電二極管(8)接 收激光二極管或普通發光二極管(9)和激光二極管或普通發光二極管(12)通 過透光槽(7)的光束，其中光電二極管(8)和激光二極管或普通發光二極管(12) 之間有遮光片(6)；所述光電二極管(10)接收激光二極管或普通發光二極管(9) 和激光二極管或普通發光二極管(12)的光束。

2.根據權利要求1所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述壓力敏感 組件(1)的殼體用金屬或工程塑料等材料制成。

3.根據權利要求1所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述控制電路 (2)由多個光伏線性放大，精密基準電壓，采樣保持，方波產生，斬波、電流 放大電路組成。

4.根據權利要求1所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述激光二極 管或普通發光二極管(9)和激光二極管或普通發光二極管(12)以交替的方式 發射光束，其中激光二極管或普通發光二極管(12)產生的光束應用于檢測壓 力應變量，激光二極管或普通發光二極管(9)產生的光束應用于檢測溫度補償， 光電二極管(10)檢測激光二極管或普通發光二極管(9)和激光二極管或普通 發光二極管(12)的光束發射功率是否相同。

5.根據權利要求4所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述光電二極 管(8)是用于檢測反應壓力應變量的敏感元件和用于檢測溫度漂移的敏感元件。

6.根據權利要求5所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述光電二極 管(8)與線性放大電路組成光伏放大電路，使壓力應變量轉換成電信號。

7.根據權利要求5所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，第一采樣保持 電路和第二采樣保持電路分離出反應壓力應變量的電壓信號和溫度誤差量信 號。

8.根據權利要求4所述的激光式壓力傳感器，第三采樣保持電路和第四采 樣保持電路分離出反應激光二極管或普通發光二極管(9)和激光二極管或普通 發光二極管(12)光束強度的信號，兩信號送入比較電路中用于調整激光二極 管或普通發光二極管(12)跟激光二極管或普通發光二極管(9)的光束功率一 致。

9.根據權利要求7所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述第一斬波 電路和第二斬波電路斬掉方波邊緣的干擾和失真，提供給相應采樣保持電路精 確的采樣指令信號。

10.根據權利要求7所述的激光式壓力傳感器，其特征在于，所述光電二 極管(8)、線性放大電路，第一采樣保持電路，第二采樣保持電路，比較電路， 精密基準電壓和激光二極管或普通發光二極管(9)形成具有溫度自我補償回路。