[發(fā)明專利]一種新型的水冷常壓等離子體自由基清洗噴槍

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110227515.1
• 申請日: 2011-08-10
• 公開（公告）號: CN102921674A
• 公開（公告）日: 2013-02-13
• 發(fā)明（設計）人: 王守國;賈少霞;趙玲利
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;H05H1/28;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的水冷常壓等離子體自由基清洗噴槍，包括射頻電極、金屬接地電極、射頻電源以及水冷管路。其特征在于：噴槍上端接進氣口，下端為噴口，四周用金屬殼體密封，噴槍金屬殼體壁面內(nèi)置金屬水冷管路，射頻電極被介質(zhì)阻擋層包覆，接地電極接地，常壓下，射頻電極與接地電極的間隙之間發(fā)生放電，產(chǎn)生等離子體，等離子體中的自由基在氣流的攜帶下從噴口噴射出來，與被清洗物體表面有機物發(fā)生反應。在噴槍放電過程中，產(chǎn)生大量的熱，聚集在噴槍腔內(nèi)，表現(xiàn)為噴槍金屬殼體溫度較高，可達80-110℃，噴槍溫度較高則會影響放電穩(wěn)定性，同時縮短噴槍使用壽命，采用水冷降低金屬殼體溫度，即可有效降低噴槍壁面和腔內(nèi)溫度，又可使噴槍放電穩(wěn)定，保證了噴槍處理效果。

2.如權利1所述的水冷常壓等離子體自由基清洗噴槍，其特征在于：噴槍金屬殼體壁面內(nèi)置六根水冷管路，水冷管路由直金屬管組成，六根水冷管路分為兩組，每三根為一組，兩組水冷管中水流方向相反，這種水冷方式，結構簡單，加工方便。

3.如權利1所述的水冷常壓等離子體自由基清洗噴槍，其特征在于：金屬接地電極與金屬壁面連接并保持接地。

4.如權利1所述的水冷常壓等離子體自由基清洗噴槍，其特征在于：采用射頻放電產(chǎn)生等離子體，放電工作氣體為氬氣和氧氣的混合氣體，等離子體中的自由基束流由噴口噴出。