[發明專利]照射式圖像傳感器的濾光片及其制造方法

在審

• 申請號: 201110227399.3
• 申請日: 2011-08-05
• 公開（公告）號: CN102468311A
• 公開（公告）日: 2012-05-23
• 發明（設計）人: 陳浩民;陸震偉;張志光
• 申請（專利權）人: 采鈺科技股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 姜燕;邢雪紅

1.一種照射式圖像傳感器的濾光片，包括：

一遮光部分，由格狀光致抗蝕劑圖案構成，其中該遮光部分覆蓋一照射式圖像傳感器芯片的一周圍區域。

2.如權利要求1所述的照射式圖像傳感器的濾光片，其中該照射式圖像傳感器芯片包括一金屬層，介于該遮光部分和位于該照射式圖像傳感器芯片的該周圍區域之間。

3.如權利要求1所述的照射式圖像傳感器的濾光片，其中所述多個格狀光致抗蝕劑圖案排列成一陣列，且其中所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的形狀包括圓形或多邊形。

4.如權利要求1所述的照射式圖像傳感器的濾光片，其中兩個相鄰的所述多個格狀光致抗蝕劑圖案通過一間隙彼此隔開或彼此相連。

5.如權利要求1所述的照射式圖像傳感器的濾光片，其中所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的尺寸大于0.4μm。

6.如權利要求1所述的照射式圖像傳感器的濾光片，其中所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的任何一個的顏色為紅色、綠色或藍色。

7.如權利要求1所述的照射式圖像傳感器的濾光片，其中所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的材質與該濾光片的一感測部分的格狀光致抗蝕劑圖案的材質相同，且該感測部分覆蓋該照射式圖像傳感器芯片的一感測區域。

8.一種照射式圖像傳感器的濾光片的制造方法，包括下列步驟：

形成格狀光致抗蝕劑圖案，覆蓋一照射式圖像傳感器芯片的一周圍區域。

9.如權利要求8所述的照射式圖像傳感器的濾光片的制造方法，其中該照射式圖像傳感器芯片包括形成于其上的一內連線結構，。

10.如權利要求8所述的照射式圖像傳感器的濾光片的制造方法，其中形成所述多個格狀光致抗蝕劑圖案包括：

形成所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的至少一個，其具有一第一顏色，該第一顏色選擇自由紅色、綠色和藍色組成的族群；

形成所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的至少一個，其具有一第二顏色，該第二顏色選擇自由紅色、綠色和藍色組成的族群，其中該第二顏色與該第一顏色不同。

11.如權利要求10所述的照射式圖像傳感器的濾光片的制造方法，更包括：

形成所述多個格狀光致抗蝕劑圖案的至少一個，其具有一第三顏色，該第三顏色選擇自由紅色、綠色和藍色組成的族群，其中該第三顏色與該第一顏色和該第二顏色不同。