[發(fā)明專利]新型IC封裝制造工藝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110225548.2 | 申請(qǐng)日: | 2011-08-08 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102254838A | 公開(kāi)(公告)日: | 2011-11-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳勝華 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 慈溪市永旭豐泰電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/56 | 分類號(hào): | H01L21/56;H01L21/48 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 315300 *** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 新型 ic 封裝 制造 工藝 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種IC封裝技術(shù),尤其涉及一種新型的IC封裝工藝。
背景技術(shù)
IC封裝,就是指把硅片上的電路管腳,用導(dǎo)線接引到外部接頭處,以便與其它器件連接,封裝形式是指安裝半導(dǎo)體集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護(hù)芯片及增強(qiáng)電熱性能等方面的作用,而且還通過(guò)芯片上的接點(diǎn)用導(dǎo)線連接到封裝外殼的引腳上,這些引腳又通過(guò)印刷電路板上的導(dǎo)線與其他器件相連接,從而實(shí)現(xiàn)內(nèi)部芯片與外部電路的連接。因?yàn)樾酒仨毰c外界隔離,以防止空氣中的雜質(zhì)對(duì)芯片電路的腐蝕而造成電氣性能下降。
目前市場(chǎng)上同類IC封裝產(chǎn)品都是用塑料配件單個(gè)手工封裝,封裝精度差,封裝速度慢,防潮性能差,不能滿足需要。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種新型的IC封裝制造工藝,該工藝采用專門的壓合設(shè)備、壓合材料、分割設(shè)備完全替代了手工封裝過(guò)程,解決了封裝精度差,封裝速度慢等現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題。
為解決上述問(wèn)題,本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:
一種新型IC封裝制造工藝,所述的工藝包括以下步驟:
步驟1,制作IC載板;
步驟2,準(zhǔn)備封裝蓋板;
步驟3,在封裝蓋板反面上上膠,通過(guò)機(jī)械整體壓合到IC載板上;
步驟4,采用±0.05mm高精度雕刻機(jī)雕刻成型,
步驟5,通過(guò)綁定機(jī)綁定IC載板,
步驟6,在封裝蓋板正面覆上50Um樹(shù)脂型純膠,
步驟7,把封裝玻璃通過(guò)機(jī)械整體壓合在蓋板上,再通過(guò)分割機(jī)切割成型。
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是:
所述的步驟3中在封裝蓋板反面上膠是指在封裝蓋板反面上50Um樹(shù)脂型純膠,并且在步驟3中進(jìn)行整體壓合時(shí)需要將溫度控制在170-180度,時(shí)間控制在30分鐘。
所述的步驟7中,將封裝玻璃通過(guò)機(jī)械整體壓合在蓋板上時(shí),需要將溫度控制在175度,時(shí)間控制在30分鐘。
所述的步驟1包括以下步驟:
步驟1-1,底片制作,即進(jìn)行光繪底片制作;
步驟1-2,開(kāi)料;
步驟1-3,鉆孔,即在底片上沖鉆基準(zhǔn)孔;
步驟1-4,沉銅,即在底片的基材表面和基準(zhǔn)孔上沉上一層化學(xué)薄銅;
步驟1-5,加厚銅,即再一次沉銅,以使銅層厚度增加;
步驟1-6,圖形轉(zhuǎn)移;
步驟1-7,圖形電鍍;
步驟1-8,退膜;
步驟1-9,半孔加工;
步驟1-10,蝕刻;
步驟1-11,退錫;
步驟1-12,對(duì)底片進(jìn)行第一次測(cè)試;
步驟1-13,阻焊;
步驟1-14,化金;
步驟1-15,對(duì)底片進(jìn)行第二次測(cè)試;
所述的步驟2包括:
步驟2-1,蓋板備料;
步驟2-2,蓋板開(kāi)料;
步驟2-3,背膠;
步驟2-4,機(jī)加工;
步驟2-5,清洗;
所述的步驟1-1中在進(jìn)行光繪底片時(shí)須進(jìn)行工藝補(bǔ)償,工藝補(bǔ)償須依據(jù)測(cè)量不同厚度Cu的側(cè)蝕來(lái)確定,所述的底片為正片。
所述的步驟2-1中蓋板的材料使用高TG雙面板材,并將雙面板材的銅皮蝕掉。
所述的步驟1-6中包括以下子步驟:
步驟1-6-1,磨板;
步驟1-6-2,對(duì)Cu面的處理運(yùn)用化學(xué)微蝕處理;
步驟1-6-3,烘干后立即進(jìn)行貼膜;
步驟1-6-4,顯影后,用刻度放大鏡測(cè)量線及間隙是否達(dá)到圖紙要求,保證線條光滑無(wú)鋸齒。
所述的步驟1-9中,半孔加工采用正反兩刀銑槽,行刀速度控制在1-2米/分鐘。
所述的步驟1-10中,蝕刻采用CuCl2溶液進(jìn)行腐蝕,同時(shí)將圖形BGA面朝下以減少側(cè)蝕量。
采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
1、各部件之間采用樹(shù)脂型的純膠進(jìn)行整體壓合,替代傳統(tǒng)的單體手工封裝,大大提高了封裝速度;
2、封裝蓋板采用高精度CNC成型,代替了單體塑料件注塑方式,提高了封裝精度;
3、采用晶元分割機(jī)分割整體壓合的產(chǎn)品,提高了封裝精度;
4、各部件之間采用樹(shù)脂型的純膠進(jìn)行整體壓合,提高了各部件之間的致密度,亦提高了封裝后的防潮功能。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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