[發(fā)明專利]一種用于藍(lán)寶石晶片的拋光組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110223877.3
• 申請(qǐng)日: 2011-08-05
• 公開（公告）號(hào): CN102358825A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘國順;羅桂海;周艷;顧忠華;雒建斌;路新春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);深圳清華大學(xué)研究院;深圳市力合材料有限公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 童曉琳

1.一種用于藍(lán)寶石晶片的拋光組合物，包含磨料和水，其特征在于：還 包含拋光促進(jìn)劑、螯合劑和拋光穩(wěn)定劑，其中，按重量百分含量，拋光促進(jìn)劑 為0.05～10％，螯合劑為0.1～10％，拋光穩(wěn)定劑為0.01～10％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：拋光促進(jìn)劑的重量 百分含量為0.2～6％，螯合劑的重量百分含量為0.2～6％，拋光穩(wěn)定劑的重量百 分含量為0.2～6％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：所述磨料為氧化硅、 氧化鋁、氧化鈰或氧化鋯中的一種或幾種，其中，氧化硅的平均粒徑為10-200 納米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：磨料的重量百分含 量為1～60％。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：所述拋光促進(jìn)劑為 鹽類，所述的鹽類為氯化鹽、硫酸鹽、硝酸鹽、硼酸鹽、硅酸鹽、磷酸鹽、乳 酸鹽、蘋果酸鹽、檸檬酸鹽、酒石酸鹽、乙醇酸鹽、α-羥基異丁酸鹽、甘油酸鹽、 葡糖酸鹽或水楊酸鹽中的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光組合物，其特征在于：所述鹽類為鉀鹽。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：所述螯合劑為乙二 胺四乙酸鹽、丙二胺四乙酸鹽、二乙基三胺五乙酸鹽、三乙基四胺六乙酸鹽、 1，2-環(huán)己二胺四乙酸鹽、氨基三亞甲基膦酸鹽、羥基亞乙基二膦酸鹽、乙二胺四 亞甲基膦酸鹽、乙二胺四亞乙基膦酸鹽、二乙烯三胺五亞甲基膦酸鹽、二乙烯 三胺五亞乙基膦酸鹽、三乙烯四胺六亞乙基膦酸鹽、丙二胺四亞乙基膦酸鹽、 丙二胺四亞甲基膦酸鹽、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸鹽、羥基亞乙基二膦酸鹽、 2-羥基膦酸基乙酸鹽、己二胺四亞甲基膦酸鹽、雙1，6-亞己基三胺五亞甲基膦 酸鹽或多氨基多醚基亞甲基膦酸鹽中的一種或幾種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：所述拋光穩(wěn)定劑為 氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸銨、碳酸氫銨、碳酸氫鉀、碳酸鉀、碳酸氫鈉、碳 酸鈉、氨水、四甲基氫氧化銨、甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、乙基胺、二乙 基胺、三乙基胺、無水哌嗪、六水哌嗪、四乙基胺、異丙醇胺、氨基丙醇、乙 醇胺、三乙醇胺、乙二胺、羥乙基乙二胺、六亞甲基二胺、二亞乙基三胺、三 亞乙基四胺或四亞乙基五胺中的一種或幾種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光組合物，其特征在于：所述拋光組合物的 pH值為8～12。

10.權(quán)利要求1至9任意一個(gè)權(quán)利要求所述的拋光組合物用于藍(lán)寶石晶片 的循環(huán)拋光。