[發(fā)明專利]一種雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110223612.3
• 申請(qǐng)日: 2011-08-05
• 公開（公告）號(hào): CN102270705A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈海軍;張麗;潘清濤;宋鑫;胡增鑫;麥耀華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 保定天威集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L31/20
• 代理公司: 唐山順誠專利事務(wù)所 13106
• 代理人: 于文順

1.一種雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法，其特征在于包含如下工藝步驟：首先采用薄膜沉積技術(shù)在基片（1）上制備透明導(dǎo)電氧化物，稱之為TCO透明導(dǎo)電薄膜（2），利用濕法刻蝕的方法對(duì)其薄膜表面進(jìn)行刻蝕；通過改變工藝參數(shù)，來獲得尺寸較大的絨面織構(gòu)，稱之為絨面織構(gòu)的TCO薄膜（3）；其次，在此絨面織構(gòu)的TCO薄膜表面，采用鍍膜技術(shù)，沉積BZO透明導(dǎo)電薄膜（4），通過調(diào)整BZO透明導(dǎo)電薄膜沉積參數(shù)來獲得尺寸較小的絨面織構(gòu)，使整個(gè)透明電極具有雙結(jié)構(gòu)的絨面織構(gòu)，應(yīng)用于薄膜太陽能電池，對(duì)可見光和近紅外光均能實(shí)現(xiàn)有效的光散射。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法，其特征在于所說的改變刻蝕工藝參數(shù)，包括刻蝕溶液的種類、濃度、溫度、刻蝕時(shí)間、TCO玻璃在溶液中運(yùn)動(dòng)的速率。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法，其特征在于所說的薄膜太陽能電池為硅基系列薄膜電池、碲化鎘系列薄膜電池、銅銦鎵錫系列薄膜電池或有機(jī)化合物材料薄膜電池。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法，其特征在于所說的TCO透明導(dǎo)電薄膜為氧化鋅（ZnO）薄膜、硼（B）摻雜ZnO薄膜、鋁（Al）摻雜ZnO薄膜、鎵（Ga）摻雜ZnO薄膜、其他金屬元素?fù)诫sZnO薄膜，也可以是金屬元素?fù)诫s的氧化錫薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法，其特征在于所采用的鍍膜技術(shù)為LPCVD技術(shù)、磁控濺射技術(shù)、脈沖激光沉積技術(shù)、旋涂技術(shù)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述之雙結(jié)構(gòu)絨面透明導(dǎo)電電極的制備方法，其特征在于所說的基片為玻璃基片，包括半鋼化玻璃基片、鋼化玻璃基片、聚酯膜基片及柔性襯底基片。