[發(fā)明專(zhuān)利]單元基板的檢查系統(tǒng)以及檢查方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110222935.0 | 申請(qǐng)日: | 2011-08-04 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102411005A | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-04-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 宮內(nèi)孝;宮崎健太郎 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 株式會(huì)社東芝 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G01N21/88 | 分類(lèi)號(hào): | G01N21/88;G02B27/22 |
| 代理公司: | 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌;陳萍 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 單元 檢查 系統(tǒng) 以及 方法 | ||
1.一種單元基板的檢查系統(tǒng),該單元基板與雙凸透鏡粘合而使用于全景圖像方式的三維圖像顯示裝置,該單元基板具有排列了多個(gè)區(qū)域的顯示區(qū)域,該多個(gè)區(qū)域分別顯示將多個(gè)視差圖像分別分割后的視差圖像信息,
上述單元基板的檢查系統(tǒng)具備:
信號(hào)產(chǎn)生裝置,將使檢查對(duì)象的上述單元基板顯示檢查用圖像的顯示信號(hào)發(fā)送到上述單元基板;
攝像裝置,對(duì)接收了上述顯示信號(hào)的上述單元基板顯示的上述檢查用圖像進(jìn)行攝像;
視差圖像生成裝置,通過(guò)將所攝像的上述檢查用圖像的上述視差圖像信息按每個(gè)視差圖像排列,由此生成對(duì)使上述單元基板和上述雙凸透鏡粘合而得到的上述視差圖像進(jìn)行了預(yù)測(cè)的預(yù)測(cè)視差圖像;以及
界面裝置,顯示上述預(yù)測(cè)視差圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單元基板的檢查系統(tǒng),其特征在于,
僅對(duì)于從上述多個(gè)視差圖像中選擇的1個(gè)視差圖像,使上述單元基板顯示上述檢查圖像。
3.一種單元基板的檢查系統(tǒng),該單元基板與雙凸透鏡粘合而使用于全景圖像方式的三維圖像顯示裝置,該單元基板具有排列了多個(gè)區(qū)域的顯示區(qū)域,該多個(gè)區(qū)域分別顯示將多個(gè)視差圖像分別分割后的視差圖像信息,
上述單元基板的檢查系統(tǒng)具備:
信號(hào)產(chǎn)生裝置,將使檢查對(duì)象的上述單元基板顯示檢查用圖像的顯示信號(hào)發(fā)送到上述單元基板;
攝像裝置,對(duì)接收了上述顯示信號(hào)的上述單元基板顯示的上述檢查用圖像進(jìn)行攝像;
視差圖像生成裝置,通過(guò)將所攝像的上述檢查用圖像的上述視差圖像信息按每個(gè)視差圖像排列,由此生成對(duì)使上述單元基板和上述雙凸透鏡粘合而得到的上述視差圖像進(jìn)行了預(yù)測(cè)的預(yù)測(cè)視差圖像;以及
判斷裝置,解析上述預(yù)測(cè)視差圖像而判斷上述單元基板有無(wú)缺陷。
4.一種單元基板的檢查方法,該單元基板與雙凸透鏡粘合而使用于全景圖像方式的三維圖像顯示裝置,該單元基板具有排列了多個(gè)區(qū)域的顯示區(qū)域,該多個(gè)區(qū)域分別顯示將多個(gè)視差圖像分別分割后的視差圖像信息,
該單元基板的檢查方法包括:
使檢查對(duì)象的上述單元基板顯示檢查用圖像;
對(duì)上述單元基板顯示的上述檢查用圖像進(jìn)行攝像;
通過(guò)將所攝像的上述檢查用圖像的上述視差圖像信息按每個(gè)視差圖像排列,由此生成對(duì)使上述單元基板和上述雙凸透鏡粘合而得到的上述視差圖像進(jìn)行了預(yù)測(cè)的預(yù)測(cè)視差圖像;以及
解析上述預(yù)測(cè)視差圖像而判斷上述單元基板有無(wú)缺陷。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單元基板的檢查方法,其特征在于,
僅對(duì)于從上述多個(gè)視差圖像中選擇的1個(gè)視差圖像,使上述單元基板顯示上述檢查圖像。
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G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
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