[發明專利]一種大面積雙面氟摻雜氧化錫透明導電薄膜的噴涂方法

有效

• 申請號: 201110222476.6
• 申請日: 2011-08-04
• 公開（公告）號: CN102372442A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 趙高揚;任洋
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 李娜

1.一種大面積雙面氟摻雜氧化錫透明導電薄膜的噴涂方法，采用噴霧熱解制備技術，其特征在于，按照以下步驟實施：

步驟1，按所需面積要求，將玻璃基板切割成所需大小，然后對切割好的玻璃基板進行磨邊處理，隨后對玻璃基板進行清洗和烘干；

步驟2，將步驟1處理后的玻璃基板豎直放置于玻璃支架上，將玻璃支架豎直安裝在小車上，由小車帶動以400~800?mm/s的速度進入加熱室內加熱至噴涂溫度；?

步驟3，將噴槍固定于噴涂室內不動，保持槍桿與步驟2加熱好的玻璃基板所在面垂直，打開噴槍氣液閥，向噴涂室內噴射氟摻雜氧化錫前驅體溶液，同時開啟抽風機，通過控制抽風機的抽風流量、噴槍嘴與玻璃基板間距、噴槍內載氣的氣壓和流量與氟摻雜氧化錫溶液液壓和流量來控制噴涂室內霧滴的霧場，待噴涂室內霧場穩定后，通過小車將玻璃基板送入噴涂室，在噴涂室內以20~100?mm/s的速度沿著平行于玻璃基板方向來回擺動，進行噴涂鍍膜，噴涂時間為30~60?s；?

步驟4，待經過步驟3噴涂完成后，關閉液氣閥門和抽風機，將鍍膜后的玻璃基板通過小車以400~800?mm/s的速度送入冷卻室，冷卻至室溫；

步驟5，將經步驟4處理后冷卻至室溫的鍍膜玻璃送入卸片臺，將其卸下，即完成鍍膜操作。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟2中的噴涂溫度為400?~550℃。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟3中氟摻雜氧化錫溶液是由錫的無機化合物、氫氟酸溶液和醇類溶劑混合并反應而生成的混合溶液；其中，Sn原子在混合溶液中的摩爾濃度為0.43?mol/L?~?2.13?mol/L，F原子在混合溶液中的摩爾濃度為0.11?mol/L?~?2.13?mol/L。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于：所述錫的無機化合物為SnCl₄·5H₂O或SnCl₄中的一種，或兩種以任意比例組成的混合物。

5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于：所述醇類溶劑為工業甲醇、工業乙醇、無水甲醇、無水乙醇、異丙醇或正丁醇中的一種，或任意幾種以任意比例組成的混合物。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟3中控制抽風機的抽風流量為0~100?m³/h。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟3中噴槍嘴與玻璃基板間距為300~500mm。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟3中噴槍內載氣的氣體氣壓壓強為3×10⁵~7×10⁵Pa，流量為20~60L/min，氟摻雜氧化錫溶液液壓壓強為1×10⁵~5×10⁵?Pa，流量為2.5~10?L/h。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟3中噴涂用載氣為高壓氮氣，噴槍噴霧為扇形霧化面。

10.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟4中冷卻方式采用對玻璃基板吹室溫空氣進行強制冷卻，吹風量為3000~5000?m³/h。