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[發明專利]一種靜電抑制器及該靜電抑制器的制備方法有效

專利信息
申請號: 201110222104.3 申請日: 2011-08-04
公開(公告)號: CN102426890A 公開(公告)日: 2012-04-25
發明(設計)人: 吳浩;梁傳勇 申請(專利權)人: 吳浩
主分類號: H01C7/105 分類號: H01C7/105;H01C17/00
代理公司: 廣東國暉律師事務所 44266 代理人: 陳琳
地址: 518020 廣東省廣州市經濟*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 靜電 抑制器 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種超低容量靜電抑制器,包括ZnO基體和電極,該電極設置于ZnO基體的兩端,其特征在于:所述的ZnO基體上還設置有Mg-Zn-Ti基體,該Mg-Zn-Ti基體按摩爾比4∶1∶5的MgO、ZnO、TiO2粉料配比而成。

2.根據權利要求1所述的超低容量靜電抑制器,其特征在于:所述的Mg-Zn-Ti基體與ZnO基體的厚度比大于或等于1∶1。

3.根據權利要求1所述的超低容量靜電抑制器,其特征在于:所述的Mg-Zn-Ti基體與ZnO基體的厚度比大于或等于4∶1。

4.一種權利要求1的靜電抑制器的制備方法,其特征在于:包括下列步驟制得:

(1)制漿:ZnO、Mg-Zn-Ti粉體分別配置漿料,該Mg-Zn-Ti粉體按摩爾比4∶1∶5的MgO、ZnO、TiO2粉料進行配比;

(2)流延:將上述配制好的漿料通過流延機制得厚度為20~40μm的膜片;

(3)疊層:疊層總厚為800μm~1200μm,Mg-Zn-Ti與Zn膜片厚度比大于或等于1∶1;

(4)壓坯:將疊好的坯塊密封,在40℃~60℃熱水中等靜壓15min~30min;

(5)切割:將上述靜壓后的膜片進行切割;

(6)排膠、燒結:將上述切割后的膜片在250℃~400℃條件下進行排除有機粘合劑,排膠完成的芯片在800℃~1000℃下燒結1h~3h,得到靜電抑制器的芯片;

(7)退火步驟,將所述燒結后的芯片在400℃~600℃退火30min;

(8)批銀及表面處理,通過在芯片的兩端設置銀電極,再進行表面處理得到所述的靜電抑制器。

5.根據權利要求4所述的靜電抑制器的制備方法,其特征在于:所述的(1)步驟中,MgO、ZnO、TiO2粉料混合后,在800℃~1000℃下預燒結得到Mg0.8Zn0.2TiO3粉體,再將Mg-Zn-Ti粉體與預合成的Al2O3-SiO2-BiO2玻璃料按質量比96∶4混合制得Mg-Zn-Ti基體。

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