[發明專利]一種晶體材料用磨鉆孔裝置

有效

• 申請號: 201110221618.7
• 申請日: 2011-08-04
• 公開（公告）號: CN102248605A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 劉朝軒;朱清奎
• 申請（專利權）人: 洛陽金諾機械工程有限公司
• 主分類號: B28D1/14
• 分類號: B28D1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶體材料用磨鉆孔裝置，包括用于晶棒的磨鉆孔機構；用于晶棒的夾持機構(2)，其特征是：所述用于晶棒的磨鉆孔機構包括鉆頭(3)、電機A(6)、冷卻介質容器(15)、鉆頭固定軸(23)，鉆頭(3)固定在鉆頭固定軸(23)的一端，所述鉆頭(3)、鉆頭固定軸(23)為空心結構，鉆頭固定軸(23)的另一端連接有冷卻介質容器(15)，冷卻介質容器(15)內的冷卻介質通過鉆頭固定軸(23)供給鉆頭(3)磨鉆中的冷卻，鉆頭固定軸(23)與電機A(6)連接，所述鉆頭(3)對應固定于夾持機構(2)上的晶棒的磨鉆部位，所述用于晶棒的夾持機構(2)設置在磨鉆孔機構的鉆頭(3)相對一側；所述磨鉆孔機構或夾持機構(2)的其中任一為進給，另一為靜止設置。

2.根據權利要求1所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是：所述用于晶棒的磨鉆孔機構，電機A(6)固定在固定板(7)的上部面，所述電機A(6)與設置在軸筒(4)內的鉆頭固定軸(23)連接，所述鉆頭固定軸(23)通過軸承和壓蓋固定在軸筒(4)內，所述軸筒(4)緊固在軸筒壓蓋(24)與軸筒固定座(14)內，所述軸筒固定座(14)固定在固定板(7)的上部面，鉆頭固定軸(23)的一端通過鉆頭鎖緊螺母(22)固定鉆頭(3)，鉆頭固定軸(23)的另一端連接有冷卻介質容器(15)，所述冷卻介質容器(15)通過防轉固定座(41)來防止跟隨鉆頭固定軸(23)旋轉，所述防轉固定座(41)固定在軸筒固定座(14)一側形成一套磨鉆孔機構。

3.根據權利要求1所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是：所述磨鉆孔機構設置為一套或兩套，其中設置為一套為晶棒的一端磨鉆，在設置為兩套時為晶棒的兩端同步磨鉆；所述兩套磨鉆孔機構由一臺或兩臺電機A(6)供給動力，也就是一臺電機A(6)帶動兩套磨鉆孔機構或每一磨鉆孔機構由一臺電機A(6)供給動力；其中兩臺電機A(6)和兩套磨鉆孔機構之間間距通過設置在進給機構托板(9)上的長圓孔結合緊固螺釘進行橫向調整，以便適應不同長度的晶棒。

4.根據權利要求1或2或3任一權利要求所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是：所述電機A(6)與鉆頭固定軸(23)的連接方式為皮帶(16)傳動或鏈條傳動，在電機A(6)的鉆頭固定軸(23)一側設置有電機頂緊塊(29)。

5.根據權利要求3所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是：所述一套或兩套用于晶棒的夾持機構(2)通過鎖緊手輪(21)調節鎖緊的松緊度，夾持機構(2)固定在夾緊機構固定座(5)的上部，所述夾持機構(2)由夾緊機構固定座(5)上的長圓孔結合緊固螺釘進行橫向調整，以便適應不同長度的晶棒。

6.根據權利要求3所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是：所述進給機構，絲杠(12)兩端分別通過軸承座(25)固定在機架(11)的上部，在絲杠(12)的一端設有聯軸器A(32)，所述聯軸器A(32)與減速機(27)動力輸出軸的一端連接，在減速機(27)動力輸入軸的端部設有手動進給手輪(8)，所述手動進給手輪(8)用于進給機構的手動進給或進給機構的微調，在減速機(27)的動力輸入軸的另一端通過聯軸器B(42)與電機B(26)連接，所述絲杠(12)通過設置在進給機構托板(9)下部的絲母形成絲接配合，所述進給機構托板(9)的下部設置有至少兩個滑塊(33)，所述滑塊(33)與設置在機架(11)上部的滑軌滑動配和，在進給機構托板(9)一側設有配合機架(11)上限位開關(37)的限位開關擋板(36)，在進給機構托板(9)的另一側的間隔設有擋片固定座(30)，在擋片固定座(30)上分別設有前后調整的擋片(40)，機架(11)上固定設置的至少兩個光電開關(31)處于擋片(40)與擋片(40)之間，所述限位開關擋板(36)通過限位開關(37)形成進給機構的保護；所述擋片(40)通過設置在機架(11)另一側邊上的光電開關(31)實現對進給機構的雙重保護。

7.根據權利要求6所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是：所述絲杠(12)的另一替換結構為，所述絲杠(12)的另一端連接夾持機構(2)的下部，由所述絲杠(12)聯動夾持機構(2)的給進形成夾持機構(2)的進給，所述夾持機構(2)下部設置滑道，所述一套或兩套磨鉆孔機構為靜止設置。