[發(fā)明專利]一種雙極型晶體管器件摻雜結(jié)構(gòu)的PN結(jié)染色方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110221253.8 | 申請(qǐng)日： | 2011-08-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102338758A | 公開（公告）日： | 2012-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華碧檢測(cè)技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N23/22 | 分類號(hào)： | G01N23/22;G01N1/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 200433 上海市楊*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 雙極型 晶體管 器件 摻雜 結(jié)構(gòu) pn 染色 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種雙極型晶體管器件摻雜結(jié)構(gòu)的PN結(jié)染色方法，其特征在于：該方法包括以下步驟：
A、按體積比HF∶HNO3∶CH3COOH∶H2O＝1∶20∶5∶10進(jìn)行雙極型晶體管器件摻雜結(jié)構(gòu)染色液的配制；
B、把金相切片好的雙極型晶體管樣品浸泡入上述染色液中25秒鐘后取出，取出過程中保證樣品截面不觸碰任何物品，確保截面干凈；
C、使用掃描電子顯微鏡進(jìn)行截面觀察該雙極型晶體管器件摻雜區(qū)，拍下掃描電子顯微鏡掃描的照片，并測(cè)量相關(guān)摻雜結(jié)構(gòu)的結(jié)深。
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