[發(fā)明專利]1,3,5-三乙基-2,4,6-三氫-2,4,6-三乙基氨基-1,3,5-三氮雜-2,4,6-三硅代環(huán)己烷的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110219954.8
• 申請日: 2011-07-01
• 公開（公告）號: CN102372735A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: W·克尼斯;H·艾布爾邁爾
• 申請（專利權(quán)）人: 瓦克化學(xué)股份公司
• 主分類號: C07F7/21
• 分類號: C07F7/21
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 過曉東

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種制備1，3，5-三乙基-2，4，6-三氫-2，4，6-三乙基氨基-1，3，5-三氮雜-2，4，6-三硅代環(huán)己烷的方法。?

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造中，由于現(xiàn)有的生產(chǎn)SiO、SiN、SiON和SiOC層的方法，人們在尋找反應(yīng)性化合物，其或者能在CVD(化學(xué)氣相沉積)法中被直接沉積，或者用在ALD(原子層沉積)法中，并且在隨后的反應(yīng)步驟中反應(yīng)。?

適用于這個目的的一類分子是氨基硅烷或者硅氮烷。除了單體化合物外，還研究了低聚硅烷。?

1，3，5-三乙基-2，4，6-三氫-2，4，6-三乙基氨基-1，3，5-三氮雜-2，4，6-三硅代環(huán)己烷(下面簡稱為三硅氮烷)早在1962年就被Sergeeva等人提及(ZH.Obschei?Khimii?1962，32，1987?ff)，并描述了它的一些性質(zhì)，但是沒有描述它的合成。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種制備1，3，5-三乙基-2，4，6-三氫-2，4，6-三乙基氨基-1，3，5-三氮雜-2，4，6-三硅代環(huán)己烷的方法，其中三氯硅烷與乙胺在溶劑中反應(yīng)。?

具體實施方式

現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)現(xiàn)三氯硅烷與乙胺在溶劑中反應(yīng)最初僅生成很少的預(yù)期的三(乙基氨基)硅烷((EtNH)₃SiH)，而是優(yōu)先形成三硅氮烷。?

所述溶劑優(yōu)選是優(yōu)選C₄-C₁₅，更優(yōu)選C₅-C₁₀，尤其優(yōu)選C₆-C₈的脂肪烴，優(yōu)選戊烷、己烷、庚烷、辛烷、異辛烷、壬烷、癸烷，特別優(yōu)選異己烷。?

根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選在20℃以下的溫度，優(yōu)選在5℃以下的溫度，更優(yōu)選在-10℃以下至-50℃的溫度下，和900-1100hPa的壓力下進行。?

優(yōu)選將乙胺加入到反應(yīng)器的氣體空間中，并且優(yōu)選計量加入使得反應(yīng)器的內(nèi)部溫度不超過-10℃。?

基于1摩爾的三氯硅烷，使用6-10mol的乙胺，更優(yōu)選6.2-7mol的乙胺，和200-1500g的溶劑，更優(yōu)選800-1000g的溶劑。?

在反應(yīng)結(jié)束時，優(yōu)選將獲得的懸浮液過濾并優(yōu)選用溶劑洗滌，并且優(yōu)選對所得溶液蒸餾，蒸餾條件是溫度優(yōu)選在320℃以下，更優(yōu)選為100-150℃，以及壓力優(yōu)選為從900-1100hPa的標(biāo)準(zhǔn)壓力至減壓，更優(yōu)選1mbar以下。?

在本發(fā)明中，所有提到的份數(shù)和百分比，除非另有說明，都是基于重量。除非另有說明，操作壓力為環(huán)境壓力，即約900-1100hPa，以及除非另有說明，溫度為室溫，即約20℃或者在沒有額外的加熱或冷卻的情況下在室溫下混合反應(yīng)物得到的溫度。所有粘度數(shù)據(jù)均是基于25℃的溫度。?

實施例?

在裝有攪拌器、夾套盤管冷凝器、溫度傳感器和滴加管路的夾套容器中首先加入1410g異己烷。向其中加入244g三氯硅烷。隨后，將溶液冷卻到-40℃并向反應(yīng)器的氣體空間中加入550g乙胺。選擇計量添加使得反應(yīng)器的內(nèi)部溫度不超過-10℃。形成白色懸浮液，其逐漸升溫至20℃。然后，將懸浮液過濾，對固體進一步用異己烷洗滌并將獲得的溶液蒸餾。在約130℃和0.1mbar的壓力下，得到包含純度大于98％的三硅氮烷的餾分(通過氣相色譜確定)。?