[發明專利]工業用機械

有效

• 申請號: 201110218335.7
• 申請日: 2011-08-01
• 公開（公告）號: CN102346026A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 小野憲次;河原井一晃;大坪圣一;安西博忠;水上一己
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種工業用機械，該工業用機械的特征在于，

其包括：

立柱以及支柱，該立柱以及支柱被沿著與臺面正交的Z軸豎立設置；

滑動件，其能夠在被設在上述的立柱以及支柱之間的梁上移動；

桿件，其能夠沿著Z軸方向移動地被保持在上述滑動件上；

溫度檢測部件，其用于對上述立柱、上述支柱、上述桿件的各自的溫度進行檢測；

偏移量算出部件，其根據上述立柱、上述支柱、上述桿件的溫度變化算出上述桿件的沿著Z軸方向的Z軸偏移量；

上述偏移量算出部件根據上述立柱、上述支柱、上述桿件的被上述溫度檢測部件檢測到的各自的溫度、基準位置數據、校正系數算出上述Z軸偏移量，該基準位置數據表示上述立柱、上述支柱、上述桿件的在將上述立柱、上述支柱、上述桿件的溫度設定為規定的基準溫度的狀態下的位置關系，該校正系數用于算出上述立柱、上述支柱、上述桿件的由溫度變化引起的沿著Z軸方向的尺寸變動量。

2.根據權利要求1所述的工業用機械，其特征在于，

上述溫度檢測部件分別對上述立柱的平均溫度、上述支柱的平均溫度、上述桿件的平均溫度進行檢測。

3.根據權利要求1或者2所述的工業用機械，其特征在于，

該工業用機械包括Z軸標尺以及Z檢測部，其中，Z軸標尺被設在上述桿件上，設有用于測量上述桿件的沿著Z軸方向的移動量的刻度，Z檢測部被設在上述滑動件上，用于檢測上述Z軸標尺的刻度；

上述基準位置數據包括：從上述臺面到上述Z檢測部的在基準溫度條件下的距離(L₁)、從上述桿件的與上述臺面相對的頂端部到上述桿件的固定Z軸標尺的位置的在基準溫度條件下的距離(L₂)、從上述立柱的中心軸線到上述滑動件的中心軸線的使上述滑動件最接近上述立柱時的距離(X₀)、從上述支柱的中心軸線到上述滑動件的中心軸線的使上述滑動件最接近上述支柱的狀態時的距離(X₁)、上述滑動件的能夠沿著X軸方向移動的距離(X₂)；

上述校正系數包括：上述立柱的熱膨脹系數(α_c)、上述支柱的熱膨脹系數(α_s)、上述桿件的熱膨脹系數(α_r)；

上述偏移量算出部件根據上述立柱的被上述溫度檢測部件檢測到的溫度(T_c)、上述支柱的被上述溫度檢測部件檢測到的溫度(T_s)、上述桿件的被上述溫度檢測部件檢測到的溫度(T_r)、上述滑動件的位置坐標(x)，利用以下算式算出上述Z軸偏移量，

(Z軸偏移量)＝(X₀+x)³×(ΔS-ΔC)/(X₀+X₁+X₂)³+ΔC-ΔZ

其中，ΔC＝(T_c-T₀)×L₁×α_c，

ΔS＝(T_s-T₀)×L₁×α_s，

ΔZ＝(T_r-T₀)×L₂×α_r，

T0：基準溫度。

4.根據權利要求1或者2所述的工業用機械，其特征在于，

該工業用機械是使用被設在上述桿件的頂端的測量觸頭來對被載置在上述臺面上的被測量對象進行測量的測量機；

該工業用機械包括校正部件，該校正部件用于根據被上述偏移量算出部件算出的上述Z軸偏移量來對上述被測量對象的被上述測量觸頭測量到的Z軸測量值進行校正。

5.根據權利要求3所述的工業用機械，其特征在于，

該工業用機械是使用被設在上述桿件的頂端的測量觸頭來對被載置在上述臺面上的被測量對象進行測量的測量機；

該工業用機械包括校正部件，該校正部件用于根據被上述偏移量算出部件算出的上述Z軸偏移量來對上述被測量對象的被上述測量觸頭測量到的Z軸測量值進行校正。