[發明專利]一種基板及其制備方法和系統

有效

• 申請號: 201110216659.7
• 申請日: 2011-07-29
• 公開（公告）號: CN102898068A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 劉若鵬;趙治亞;劉宗彬;金晶
• 申請（專利權）人: 深圳光啟高等理工研究院;深圳光啟創新技術有限公司
• 主分類號: C04B26/08
• 分類號: C04B26/08;C08L27/16;C08K7/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基板制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

制備PZT晶體粉末；

將PVDF溶于有機溶劑形成溶液并將所述PZT晶體粉末混合于所述溶液制成混合液，并超聲分散所述混合液；使用所述混合液制備基板。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述使用混合液制備基板的步驟之后，所述方法還包括以下步驟：

在硅油中高溫加熱極化所述基板。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述制備PZT晶體粉末的步驟具體為：

將二氧化鉛、鋯酸鉛、鈦酸鉛充分研磨并混合均勻成粉末；

將所述粉末分散于有機溶劑并攪拌均勻成分散液；

在高溫下燒結所述分散液形成PZT晶體；

將所述PZT晶體充分研磨成PZT晶體粉末。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述PZT晶體粉末具有多孔結構。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述混合液通過超聲分散，均勻混合所述PZT晶體粉末和PVDF。

6.一種基板制備系統，其特征在于，所述制備系統包括：

PZT晶體粉末制備單元，用于制備多孔PZT晶體粉末；

基板原料制備單元，用于制備所述PZT晶體粉末制備單元制備的PZT晶體粉末與PVDF的混合液；

基板制備單元，用于根據所述基板原料制備單元制備的原料制備基板。

7.如權利要求6所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：

基板極化單元，用于在硅油中高溫加熱極化所述基板制備單元制備的基板。

8.如權利要求6所述的系統，其特征在于，所述PZT晶體粉末制備單元具體包括：

粉末制備模塊，用于將二氧化鉛、鋯酸鉛、鈦酸鉛充分研磨并混合均勻后制成粉末；

分散液制備模塊，用于將所述粉末制備模塊制備的粉末分散于有機溶劑，制成分散液；

PZT晶體燒結模塊，用于將所述分散液制備模塊制備的分散液在高溫下燒結成PZT晶體；

PZT晶體研磨模塊，用于將所述PZT燒結模塊燒結的PZT晶體研磨成PZT晶體粉末。

9.如權利要求6所述的系統，其特征在于，所述基板原料制備單元具體包括：

混合液制備單元，用于將PVDF溶于有機溶劑形成溶液，并將所述PZT晶體粉末制備單元制備的PZT晶體粉末混合于所述溶液制成混合液；

超聲分散單元，用于超聲分散所述混合液制備單元制備的混合液。

10.一種如權利要求1所述方法制備的基板。