[發(fā)明專利]花籃式氣浮硅片自動分離機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110216105.7
• 申請日: 2011-07-30
• 公開（公告）號: CN102299049A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李強(qiáng);鄭海紅;李向東;魏海濱;趙建軍;張素枝;任劍;朱躍紅
• 申請（專利權(quán)）人: 太原風(fēng)華信息裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 山西科貝律師事務(wù)所 14106
• 代理人: 陳奇

技術(shù)領(lǐng)域

?本發(fā)明涉及一種花籃式氣浮硅片自動分離機(jī)構(gòu)，特別涉及一種花籃內(nèi)層疊硅片單個分離機(jī)構(gòu)，配套用于硅片絲印機(jī)及硅片測試分選機(jī)的硅片分離系統(tǒng)中。

背景技術(shù)

在硅片自動化生產(chǎn)過程中，將花籃內(nèi)成組疊放在一起的硅片逐片取出并傳送是一個重要工序，如何將層疊靜電吸附在一起的硅片快速無損分離是實(shí)現(xiàn)自動化高效作業(yè)的基礎(chǔ)。目前，硅片的分離過程主要是由手工完成，供料速度低，同時由于手夾持硅片用力的大小不同，導(dǎo)致碎片率過高，從而直接影響生產(chǎn)效率及產(chǎn)能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種花籃式氣浮硅片自動分離機(jī)構(gòu)，解決了硅片的分離過程主要是由手工完成，硅片分離速度低，同時由于手夾持硅片用力的大小不同，導(dǎo)致碎片率過高的問題。

本發(fā)明是通過以下方案解決以上問題的：

花籃式氣浮硅片自動分離機(jī)構(gòu)，包括PLC和花籃導(dǎo)軌，在花籃導(dǎo)軌上活動設(shè)置有花籃，花籃包括花籃底座、四組柔性導(dǎo)向同步帶部件、活動底板及降料配重板，花籃下方設(shè)置有硅片升降機(jī)構(gòu)，在花籃上方設(shè)置有負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu)，在花籃的兩側(cè)分別設(shè)置有氣浮硅片自動分離部件，氣浮硅片自動分離部件包括立柱架體、倒T字形連接架、T字形連接架和門字形平躺架，倒T字形連接架沿上下方向垂直設(shè)置在立柱架體的頂端，在T字形連接架的立柱上設(shè)置有豎向長條孔，第一固定螺釘通過豎向長條孔將T字形連接架沿上下方向垂直固定在倒T字形連接架的上面，通過調(diào)節(jié)第一固定螺釘在豎向長條孔的位置實(shí)現(xiàn)T字形連接架的升起和降下，在T字形連接架的橫梁上沿水平前后方向分別設(shè)置有門字形平躺架體的兩個水平豎梁導(dǎo)軌，在豎梁導(dǎo)軌上設(shè)置有水平方向的橫向長條孔，通過調(diào)節(jié)第二固定螺釘在橫向長條孔中的位置，實(shí)現(xiàn)門字形平躺架在水平方向上的前后移動，在門字形平躺架的橫梁通氣軸上活動設(shè)置有可轉(zhuǎn)動的氣浮塊，在橫梁通氣軸的端部設(shè)置有進(jìn)氣孔。

在所述的倒T字形連接架上設(shè)置有光纖傳感器安裝座。

本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有手動分離硅片供料的速度慢、高碎片率的問題，實(shí)現(xiàn)高效自動化作業(yè)，又能降低生產(chǎn)成本，同時保證運(yùn)行持續(xù)、穩(wěn)定、可靠。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的總體結(jié)構(gòu)示意圖

圖2是本發(fā)明的氣浮硅片自動分離部件4的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施例

花籃式氣浮硅片自動分離機(jī)構(gòu)，包括PLC和花籃導(dǎo)軌1，在花籃導(dǎo)軌1上活動設(shè)置有花籃2，花籃2下方設(shè)置有硅片升降機(jī)構(gòu)3，在花籃2上方設(shè)置有負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu)5，在花籃2的兩側(cè)分別設(shè)置有氣浮硅片自動分離部件4，氣浮硅片自動分離部件4包括立柱架體6、倒T字形連接架7、T字形連接架8和門字形平躺架9，倒T字形連接架7沿上下方向垂直設(shè)置在立柱架體6的頂端，在T字形連接架8的立柱上設(shè)置有豎向長條孔10，第一固定螺釘11通過豎向長條孔10將T字形連接架8沿上下方向垂直固定在倒T字形連接架7的上面，通過調(diào)節(jié)第一固定螺釘11在豎向長條孔10的位置實(shí)現(xiàn)T字形連接架8的升起和降下，在T字形連接架8的橫梁上沿水平前后方向分別設(shè)置有門字形平躺架體9的兩個水平豎梁導(dǎo)軌13，在豎梁導(dǎo)軌13上設(shè)置有水平方向的橫向長條孔，通過調(diào)節(jié)第二固定螺釘14在橫向長條孔中的位置，實(shí)現(xiàn)門字形平躺架9在水平方向上的前后移動，在門字形平躺架9的橫梁通氣軸15上活動設(shè)置有可轉(zhuǎn)動的氣浮塊16，在橫梁通氣軸15的端部設(shè)置有進(jìn)氣孔17。

在所述的倒T字形連接架7上設(shè)置有光纖傳感器安裝座12。

工作時，花籃組件運(yùn)至氣浮硅片分離工位，花籃底座被固定，層疊的硅片位于花籃組件內(nèi)部的降料配重板之上，且由四條柔性導(dǎo)向同步帶部件為硅片組做升降運(yùn)動時導(dǎo)向，齒輪齒條升降機(jī)構(gòu)中的升降頂塊在伺服電機(jī)驅(qū)動的齒輪齒條傳動下，推動花籃組件的活動底座上升也即推動層疊硅片組上升到單一硅片分離高度位置，與此同時負(fù)壓吸料機(jī)構(gòu)中的負(fù)壓升降氣缸將負(fù)壓吸嘴降至靠近硅片組頂層硅片的吸硅片位置，氣浮動硅片開始，負(fù)壓吸料機(jī)構(gòu)中的負(fù)壓發(fā)生器打開，四個吸嘴等待氣流將硅片托起，以便吸取，同時氣浮硅片自動分離部件4的氣刀閥啟動，兩組對稱吹氣塊開始以固定頻率對處于頂部的硅片進(jìn)行強(qiáng)氣流沖擊浮起分離，與此同時，升降硅片機(jī)構(gòu)中的升降頂塊下降，帶動分離下來的硅片組脫離硅片分離區(qū)，負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu)的氣嘴將經(jīng)氣流托起的硅片吸住后，在其上直線電機(jī)的驅(qū)動下，將硅片送入過渡傳送機(jī)構(gòu)上。一個工作周期結(jié)束。升降硅片機(jī)構(gòu)中的升降頂塊繼續(xù)上升，開始進(jìn)行下一個工作周期。