[發明專利]內置冷陰極規管的真空滅弧室真空度測量裝置

有效

• 申請號: 201110214982.0
• 申請日: 2011-07-29
• 公開（公告）號: CN102412089A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 趙智忠;王麗君
• 申請（專利權）人: 河北工業大學
• 主分類號: H01H33/668
• 分類號: H01H33/668;G01L21/34
• 代理公司: 天津市杰盈專利代理有限公司 12207
• 代理人: 王小靜

1.一種內置冷陰極規管的真空滅弧室真空度測量裝置，包括真空滅弧室主體、電源、冷陰極真空規管與測量電路，其特征在于：

冷陰極真空規管封裝于真空滅弧室內部，冷陰極規管封接在真空滅弧室靜端蓋板的內側，與真空滅弧室成為一體，在滅弧室的靜端蓋板引出測量電極；陰極為兩塊不銹鋼平板并相對放置；中間的是框形陽極，與靜端蓋板上的陽極引出極連接；外加磁場垂直于電極平面，磁場由釹鐵硼永磁體提供，永磁體位于兩塊平板陽極外側和規管圓柱形外殼之間的空間。

2.根據權利要求1所述的內置冷陰極規管的真空滅弧室真空度測量裝置，其特征在于所述的冷陰極真空規管的外形是圓柱體，它的不銹鋼圓柱形外殼釬焊在真空滅弧室的靜端蓋板上。

3.根據權利要求1所述的內置冷陰極規管的真空滅弧室真空度測量裝置，其特征在于所述的封接結構是由封接環和封接瓷片組成，封接瓷片的中心孔與陽極引出極針式封接，封接瓷片即是封接結構件又是陰極陽極之間的電氣絕緣件。

4.根據權利要求1所述的內置冷陰極規管的真空滅弧室真空度測量裝置，其特征在于所述的框形陽極用鉬或不銹鋼制成。

5.根據權利要求1所述的內置冷陰極規管的真空滅弧室真空度測量裝置，其特征在于所述的永磁體為釹鐵硼永磁體。