[發明專利]一種用于封裝設備的加熱控制裝置有效
| 申請號: | 201110214644.7 | 申請日: | 2011-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN102412171A | 公開(公告)日: | 2012-04-11 |
| 發明(設計)人: | 汪輝;周小飛 | 申請(專利權)人: | 銅陵富仕三佳機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/56 |
| 代理公司: | 銅陵市天成專利事務所 34105 | 代理人: | 程霏 |
| 地址: | 244000 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 封裝 設備 加熱 控制 裝置 | ||
1.一種用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:本加熱控制裝置包括測溫部件(10),測溫部件(10)的輸出端與溫控模塊(20)的輸入端相連,溫控模塊(20)的輸出端與繼電器(30)相連,繼電器(30)控制端的供電回路中設有加熱部件(40)。
2.根據權利要求1所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述溫控模塊(20)的輸入端與通訊模塊(50)的輸出端相連,通訊模塊(50)的輸入端與控制器(60)的輸出端相連。
3.根據權利要求1或2所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述測溫部件(10)為熱電偶。
4.根據權利要求1或2所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述繼電器(30)為固態繼電器。
5.根據權利要求1或2所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述控制器(60)為PLC控制器。
6.根據權利要求1或2所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述繼電器(30)控制端的供電回路中還串接有用于短路保護的保險絲(70)。
7.根據權利要求1或2所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述溫控模塊(20)的輸出端設有用于斷線檢測的電流互感器(80),電流互感器(80)套接在與加熱部件(40)電連接的供電回路中。
8.根據權利要求2所述的用于封裝設備的加熱控制裝置,其特征在于:所述通訊模塊(50)的輸入端通過CC_LINK網絡與控制器(60)的輸出端相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





