[發(fā)明專利]一種用于多晶硅片制絨的酸性制絨液及其使用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110212534.7 | 申請日： | 2011-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN102330154A | 公開（公告）日： | 2012-01-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李明;符黎明;陳培良 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州時(shí)創(chuàng)能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司： | 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 劉冬梅 |
| 地址： | 213300 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 多晶 硅片 酸性 制絨液 及其 使用方法 | ||
1.一種用于多晶硅片制絨的酸性制絨液，其特征在于其中包含的組分為：高氯酸鹽、氫氟酸和去離子水，其中高氯酸鹽和氫氟酸的含量分別為5～30摩爾/升和1～20摩爾/升。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸性制絨液，其中，高氯酸鹽和氫氟酸的含量分別為10～25摩爾/升和5～15摩爾/升。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸性制絨液，其中，高氯酸鹽和氫氟酸的含量分別為15～18摩爾/升和10～12摩爾/升。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的酸性制絨液，高氯酸鹽和氫氟酸的含量分別為18摩爾/升和10摩爾/升。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4之一所述的酸性制絨液，還可以添加表面活性劑，添加量為0.05％-0.2％(重量百分比)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的酸性制絨液，表面活性劑為硅基表面活性劑，如聚甲基硅氧烷及其衍生物或烷基酚聚氧乙烯醚系列，如辛基酚聚氧乙烯醚或壬基酚聚氧乙烯醚。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的酸性制絨液，其中高氯酸鹽為高氯酸鈉、高氯酸鉀或高氯酸銨。
8.一種使用權(quán)利要求1-7所述的酸性制絨液制絨的方法，其特征在于，將多晶硅片浸入到該酸性制絨液中，制絨時(shí)，溫度為5-20℃，制絨時(shí)間為2-10min。制絨完成后，在硅片表面形成均勻的凹坑狀絨面，絨面的尺寸約為1～5μm。
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