[發(fā)明專利]一種光刻膠清洗液

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110211526.0
• 申請(qǐng)日: 2011-07-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102902168A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉兵;彭洪修;孫廣勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安集微電子科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 上海翰鴻律師事務(wù)所 31246
• 代理人: 李佳銘

1.一種光刻膠清洗液，其特征在于，包含：醇胺、3-氨基-5-巰基-1，2，4-三氮唑以及助溶劑。

2.如權(quán)利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述醇胺的含量為1-80％；所述3-氨基-5-巰基-1，2，4-三氮唑的含量為0.001-1％；助溶劑的含量為19.999-98.999％；上述含量均為質(zhì)量百分比含量。

3.如權(quán)利要求2所述的清洗液，其特征在于，所述醇胺的含量為5-70％；所述3-氨基-5-巰基-1，2，4-三氮唑的含量為0.01～0.5％；余量是助溶劑；上述含量均為質(zhì)量百分比含量。

4.如權(quán)利要求3所述的清洗液，其特征在于，所述醇胺的含量為10-60％；所述3-氨基-5-巰基-1，2，4-三氮唑的含量為0.05～0.3％；余量是助溶劑；上述含量均為質(zhì)量百分比含量。

5.如權(quán)利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述的醇胺為選自單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、異丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一種或幾種。

6.如權(quán)利要求1所述的清洗液，其特征在于，所述的助溶劑選自亞砜、砜、咪唑烷酮、咪唑啉酮、醇、醚、酰胺中的一種或多種。

7.如權(quán)利要求6所述的清洗液，其特征在于，所述的亞砜為二甲基亞砜；所述的砜為環(huán)丁砜；所述的咪唑烷酮為1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的咪唑啉酮為1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺為二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述的醇為丙二醇、二乙二醇；所述的醚為含有羥基的醚。

8.如權(quán)利要求7所述的清洗液，其特征在于，所述的醚為乙二醇醚或丙二醇醚。

9.如權(quán)利要求8所述的清洗液，其特征在于，所述的乙二醇醚為乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚；所述的丙二醇醚為丙二醇乙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丁醚。